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龙图腾网获悉比亚迪股份有限公司;比亚迪汽车工业有限公司申请的专利一种表面活性剂组合物、碳化硅晶圆清洗剂、碳化硅晶圆及其清洗方法、器件和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120737913B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511235829.4，技术领域涉及：C11D1/72；该发明授权一种表面活性剂组合物、碳化硅晶圆清洗剂、碳化硅晶圆及其清洗方法、器件和设备是由宋凯;刘伟华;周维;王军;汤文辉设计研发完成，并于2025-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种表面活性剂组合物、碳化硅晶圆清洗剂、碳化硅晶圆及其清洗方法、器件和设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种表面活性剂组合物、碳化硅晶圆清洗剂、碳化硅晶圆及其清洗方法、器件和设备，属于碳化硅晶圆领域，其中，所述表面活性剂组合物包括：a醇胺类化合物；b聚乙烯亚胺；c至少一种通式为的脂肪醇聚氧乙烯醚类表面活性剂。本申请通过选取醇胺类化合物、聚乙烯亚胺和脂肪醇聚氧乙烯醚类表面活性剂进行搭配使用，不仅显著降低了表面活性剂的临界胶束浓度值，而且增强了其对碳化硅晶圆表面的润湿性能。在此基础上，本申请还提供了一种碳化硅晶圆清洗剂，该碳化硅晶圆清洗剂对碳化硅晶圆的如表面颗粒、金属离子等污染物去除率高，且具有清洗时间短和良品率高等特点。

本发明授权一种表面活性剂组合物、碳化硅晶圆清洗剂、碳化硅晶圆及其清洗方法、器件和设备在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶圆清洗剂，其特征在于，以重量份数计，所述碳化硅晶圆清洗剂包括表面活性剂组合物9-15份，所述表面活性剂组合物的临界胶束浓度值为0.009gL-0.048gL；所述表面活性剂组合物的水溶液在碳化硅晶圆表面的接触角≤20°，所述表面活性剂组合物在所述水溶液中的质量分数为10%-20%，所述表面活性剂组合物包括： a重量占比为27-43%的醇胺类化合物；以及 b重量占比为16-34%的聚乙烯亚胺；以及 c重量占比为33-46%的、至少一种通式为的脂肪醇聚氧乙烯醚；其中，R为烷基，n为选自7-10中任一自然数； 在所述表面活性剂组合物中，所述聚乙烯亚胺的数均分子量为600gmol-5000gmol；以质量分数计，所述聚乙烯亚胺中氨基含量为30%~42%； 所述碳化硅晶圆清洗剂还包括乙二胺四乙酸1-2份、氢氧化四甲基胺2-4份、聚乙烯醇0.5-1份、羟乙基纤维素0.5-1份和水70-83份， 所述碳化硅晶圆清洗剂对碳化硅晶圆表面颗粒污染物的去除率≥80%。

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