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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种集成电路晶圆工艺的知识推理方法、装置及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120744140B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511204253.5，技术领域涉及：G06F16/36；该发明授权一种集成电路晶圆工艺的知识推理方法、装置及介质是由孙奇;卓成;姜钰琪设计研发完成，并于2025-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种集成电路晶圆工艺的知识推理方法、装置及介质在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆制造领域，公开了一种集成电路晶圆工艺的知识推理方法、装置及介质，包括：通过对晶圆图像进行多模态特征的提取；进行晶圆知识检索；进行文档排序；生成查询答案。本发明通过三个核心阶段逐步实现复杂查询的动态分解与高精度解决。引入的多模态链式推理框架使模型能够将逻辑推理与多模态信息相结合，构建连贯的解决链以应对复杂任务。

本发明授权一种集成电路晶圆工艺的知识推理方法、装置及介质在权利要求书中公布了：1.一种集成电路晶圆工艺的知识推理方法，其特征在于，包括： 步骤1，通过对输入的查询的晶圆图像进行多模态特征的提取，进行图像表面缺陷的检测，最终生成能够直观表现缺陷区域的Mask图像； 步骤2，进行晶圆知识检索，在晶圆知识检索中根据用户查询的复杂程度，将检索任务分解为多个子步骤，在每个子步骤中，动态整合晶圆图像、缺陷掩模信息以及晶圆ID，逐步完成相关文档的搜索，包括： 步骤2.1，查询的逻辑分解：设计查询推理器，通过将用户查询逐步分解为多个子查询，并形成解决链以捕获关键细节，在这一阶段，通过提示学习对不同复杂度查询的数据集进行微调，使基础语言模型能够识别查询是否需要分解，并生成对应的子查询； 针对简单查询，直接输出最终答案；对于复杂查询，通过动态调整解决链的长度，进一步优化逻辑计划； 步骤2.2，跨模态融合：设计共享门控单元，用于评估晶圆图像、生成的掩模以及提取的晶圆ID信息与每个子查询的相关性，选择最相关的模态信息与查询向量进行融合； 步骤2.3，多轮检索：在多轮检索阶段，基于逻辑分解和跨模态融合，对每个用户查询及其子查询和多模态向量，从晶圆知识库中逐步检索相关的候选文档；每轮检索都为生成中间答案提供外部知识提示；采用混合检索方法，将基于关键词的检索与基于语义的检索相结合，在操作中，子查询使用关键词匹配来确保术语的精准对齐，多模态向量通过语义检索捕捉复杂的上下文关系； 步骤3，进行文档排序，文档排序过程中，对晶圆知识检索的检索结果进行加权评分，通过评分机制对检索到的文档进行优先级排序，从中选出与查询最相关的前若干个文档； 步骤4，生成查询答案，生成查询答案过程中，将晶圆图像、缺陷掩模以及排序后的高相关性文档作为提示输入基础语言模型，基础语言模型通过结合多模态数据和专业文档信息，生成准确且具有解释性的答案。

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