深圳中科飞测科技股份有限公司吕肃获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种静电卡盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120809658B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511312089.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种静电卡盘是由吕肃;蒋路翔;桂梦茜;陈鲁设计研发完成，并于2025-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种静电卡盘，包括：基底，以及间隔排布设置在基底侧面的多个安装部，且所述安装部具有挠性；电极层，所述电极层位于所述基底顶面，所述电极层包括相互绝缘的正电极层和负电极层；绝缘层，所述绝缘层位于所述电极层远离所述基底顶面的表面上。本发明有利于保证静电卡盘具有较优的平面度，进而保证静电卡盘所承载的晶圆具有较高的平整度。
本发明授权一种静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘，其特征在于，包括： 基底100，以及间隔排布设置在基底100侧面的多个安装部101，且所述安装部101具有挠性，所述安装部101的侧面分为第一侧151、第二侧152、第三侧153以及第四侧154，所述第一侧151与所述基底100相连接，所述第二侧152与所述第一侧151正对，所述第三侧153与所述第四侧154正对，所述第三侧153和或所述第四侧154具有挠性豁口150，所述挠性豁口150沿所述安装部101的厚度方向贯穿所述安装部101，所述安装部101用于吸收微调对静电卡盘产生的应力，以调整静电卡盘上表面的平面度； 电极层，所述电极层位于所述基底100顶面，所述电极层包括相互绝缘的正电极层110和负电极层120； 绝缘层，所述绝缘层位于所述电极层远离所述基底100顶面的表面上。
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