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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利碳化硅外延工艺配方生成方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120851393B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511351035.4，技术领域涉及：G06Q10/063；该发明授权碳化硅外延工艺配方生成方法、装置、设备及存储介质是由仇礼钦;张南;王鑫;毛朝斌设计研发完成，并于2025-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本碳化硅外延工艺配方生成方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及碳化硅技术领域，具体涉及碳化硅外延工艺配方生成方法、装置、设备及存储介质；获取历史实验工艺数据；根据预设的数据挑选条件和第二成分相关系数对历史实验工艺数据和预设的目标工艺指标进行求解，以得到一组候选可行解；根据预设的最小二乘回归算法和预设的期望因变量对一组候选可行解进行筛选，以得到工艺参数；根据工艺参数生成碳化硅外延工艺配方和评估报告；本方案通过定位碳化硅外延工艺关键调控因素，规避经验试错盲目性；经最小二乘回归算法一组候选可行解，并最终生成工艺配方，为工艺研发提供可解释复现方案，缩短周期、降低成本。

本发明授权碳化硅外延工艺配方生成方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.碳化硅外延工艺配方生成方法，其特征在于，包括： 获取历史实验工艺数据； 根据历史实验工艺数据生成自变量和因变量； 对自变量和因变量进行标准化，以得到标准化自变量和标准化因变量； 根据预设的方差最大列条件从标准化因变量中选取得到第一成分相关系数； 根据标准化自变量和第一成分相关系数生成权重向量； 根据权重向量和标准化自变量生成第二成分相关系数； 根据预设的数据挑选条件和第二成分相关系数对历史实验工艺数据和预设的目标工艺指标进行求解，以得到一组候选可行解； 所述根据预设的数据挑选条件和第二成分相关系数对历史实验工艺数据和预设的目标工艺指标进行求解，以得到一组候选可行解，包括： 对历史实验工艺数据进行行数分析，以得到历史数据行数； 根据预设的舍取条件、历史数据行数和数据挑选条件对历史实验工艺数据进行计算，以得到均方误差； 对所有的均方误差进行数据统计，以得到均方误差数； 对标准化自变量和第二成分相关系数进行计算，以得到第一载荷； 判断均方误差数是否满足预设的内循环迭代停止条件； 若均方误差数未满足内循环迭代停止条件，返回执行根据舍取条件、历史数据行数和数据挑选条件对历史实验工艺数据进行计算，直至均方误差数满足内循环迭代停止条件； 若均方误差数满足内循环迭代停止条件，则根据预设的外层循环迭代停止条件对均方误差和第二成分相关系数进行分析，以得到最佳成分数； 获取所有的第一载荷，以得到第一载荷集； 根据最佳成分数、第一载荷集和目标工艺指标生成一组候选可行解； 根据预设的最小二乘回归算法和预设的期望因变量对一组候选可行解进行筛选，以得到工艺参数； 所述根据预设的最小二乘回归算法和预设的期望因变量对一组候选可行解进行筛选，以得到工艺参数，包括： 根据预设的重复次数对历史实验工艺数据进行随机抽取和放回，以得到多个Bootstrap样本； 根据最小二乘回归算法和多个Bootstrap样本构建得到多个第二偏最小二乘回归模型和多个第二回归系数矩阵； 根据预设的期望因变量和多个第二偏最小二乘回归模型对多个第二回归系数矩阵进行逆向求解，以得到多个估计值； 根据多个估计值生成置信区间； 根据置信区间对一组候选可行解进行筛选，以得到工艺参数； 根据工艺参数生成碳化硅外延工艺配方和评估报告。

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