上海圣永丞半导体科技有限公司周荣华获国家专利权
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龙图腾网获悉上海圣永丞半导体科技有限公司申请的专利基于LCVD法制备石墨烯金刚石空心钻头的方法、钻头及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120866794B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511383512.5,技术领域涉及:C23C16/27;该发明授权基于LCVD法制备石墨烯金刚石空心钻头的方法、钻头及应用是由周荣华设计研发完成,并于2025-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于LCVD法制备石墨烯金刚石空心钻头的方法、钻头及应用在说明书摘要公布了:本发明涉及超硬材料加工领域,公开了一种基于LCVD法制备石墨烯金刚石空心钻头的方法、钻头及应用。该方法包括以下步骤:基体预处理;催化剂负载:将预处理后的基体浸入硝酸镍溶液中,超声处理使镍离子均匀吸附在基体表面;然后将基体取出;石墨烯生长:将负载催化剂的基体放入LCVD反应室中,抽真空后通入氩气和氢气,将基体加热,然后通入甲烷气体,开启脉冲激光,在基体表面生长石墨烯薄膜;金刚石沉积:关闭甲烷气体,通入氢气和甲烷混合气体,将基体降温,开启脉冲激光,在石墨烯薄膜表面沉积金刚石薄膜;后处理。本发明的方法工艺简单、成本低、效率高,制备的钻头具有优异的耐磨性、韧性和使用寿命。
本发明授权基于LCVD法制备石墨烯金刚石空心钻头的方法、钻头及应用在权利要求书中公布了:1.一种基于LCVD法制备石墨烯金刚石空心钻头的方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1,基体预处理,所述基体为碳纤维空心基体; 步骤2,催化剂负载:将预处理后的基体浸入硝酸镍溶液中,超声处理使镍离子均匀吸附在基体表面;然后将基体取出,洗涤,干燥; 步骤3,石墨烯生长:将负载催化剂的基体放入LCVD反应室中,抽真空至10-3Pa,通入氩气和氢气,流量分别为100sccm和50sccm,将基体加热至800℃;然后通入甲烷气体,流量为10~15sccm,开启脉冲激光,激光波长为1064nm,脉冲宽度为10ns,重复频率为10Hz,能量密度为2Jcm2,在基体表面生长石墨烯薄膜,生长时间为20~30分钟; 通入的甲烷气体流量随时间呈梯度变化,初始通入甲烷气体的流量为10sccm,随后在10分钟内线性增加至15sccm,然后继续生长10~20分钟; 步骤4,金刚石沉积:关闭甲烷气体,通入氢气和甲烷混合气体,流量分别为200~250sccm和20~40sccm,将基体温度降至700℃;开启脉冲激光,激光波长为1064nm,脉冲宽度为10ns,重复频率为10Hz,能量密度为1.5~2.5Jcm2,在石墨烯薄膜表面沉积金刚石薄膜,沉积时间为1.5~2小时; 步骤5,后处理。
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