天津双微电子科技有限公司王晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉天津双微电子科技有限公司申请的专利外置式等离子源刻蚀机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120878531B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511393945.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权外置式等离子源刻蚀机是由王晓东设计研发完成，并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本外置式等离子源刻蚀机在说明书摘要公布了：本申请提供了一种外置式等离子源刻蚀机，包括加工组件、离子源组件和等离子电源；加工组件具有加工腔，所述加工腔一侧形成加工口，所述加工腔的底部具有可旋转的放置台；离子源组件设于所述加工组件设有所述加工口的一侧，所述离子源组件包括从下往上顺次衔接的磁控管、环形器和放射舱，所述放射舱具有放射口，所述放射口与所述加工口对接；等离子电源设于所述环形器的一侧，所述等离子电源与所述磁控管电连接。本申请提供的外置式等离子源刻蚀机，离子源组件设于加工腔的加工口一侧，等离子体从侧面直接进入加工腔，配合可旋转的放置台，产品旋转过程中周向各区域及侧面均能充分接触等离子体，提高了加工效率。
本发明授权外置式等离子源刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种外置式等离子源刻蚀机，其特征在于，包括： 加工组件1，包括加工壳11、放置台12以及旋转电机13，所述加工壳11内部形成有加工腔111，所述加工壳11一侧形成加工口112，所述放置台12用于放置产品，所述放置台12转动置于所述加工壳11底部，且所述放置台12的转动轴线平行于竖直方向，所述放置台12的底部穿出所述加工壳11的底部，所述旋转电机13设于所述加工壳11底部，所述旋转电机13顶部具有可转动的输出端，所述输出端与所述放置台12底部传动连接； 离子源组件2，设于所述加工组件1设有所述加工口112的一侧，所述离子源组件2包括从下往上顺次衔接的磁控管21、环形器22和放射舱23，所述放射舱23具有放射口，所述放射口与所述加工口112对接，以使所述放射舱23和所述加工腔111连通；以及 等离子电源3，设于所述环形器22的一侧，所述等离子电源3与所述磁控管21电连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津双微电子科技有限公司，其通讯地址为：300450 天津市滨海新区滨海高新区滨海科技园日新道196号研发楼东区1楼前厅-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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