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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利MEMS传感器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120887368B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511395017.6，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权MEMS传感器及其制造方法是由涂孝军;王正义;石佑敏;王涛;颜宇庆设计研发完成，并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS传感器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明属于MEMS传感器领域，公开了一种MEMS传感器及其制造方法，该传感器包括：具有背腔的第一支撑座；嵌设于第一支撑座端侧的振膜座圈，其中部与背腔对应；周部嵌设于振膜座圈内的振膜，其对应覆盖背腔；具有空腔的第二支撑座，其设于第一支撑座设置振膜的一端上，空腔与振膜和背腔对应；背板，其上设若干声孔，背板设于第二支撑座远离第一支撑座的一端侧，覆盖空腔；其中，振膜座圈由弹性材料制成。振膜通过弹性振膜座圈嵌合安装，使振膜具有更优的灵敏度和顺应性，检测更加灵敏精准；取消了振膜的锚固连接部位，有效避免或降低了振膜连接部位应力集中的问题，降低振膜破损风险；同时振膜座圈还具有静音、衰减振动、改善谐振等作用。

本发明授权MEMS传感器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.MEMS传感器，其特征在于，包括： 第一支撑座，具有背腔； 振膜座圈，嵌设于所述第一支撑座一端侧上，所述振膜座圈的中部与所述背腔对应； 振膜，周部嵌设于所述振膜座圈内，对应覆盖所述背腔； 第二支撑座，具有空腔，所述第二支撑座设于所述第一支撑座设置振膜的一端上，所述空腔与所述振膜和背腔对应； 背板，其上设有若干声孔，所述背板设置于所述第二支撑座远离第一支撑座的一端侧，覆盖所述空腔； 其中，所述振膜座圈由弹性材料制成； 所述振膜座圈包括相适配的下座圈和上座圈；所述振膜周部嵌设于下座圈和上座圈之间； 所述下座圈嵌设于所述第一支撑座的座圈槽内，所述下座圈底部设有与第一支撑座适配的第一嵌合限位部，所述下座圈上部设有与所述振膜适配的第二嵌合限位部；所述上座圈盖设于所述下座圈上和所述振膜周部上； 所述振膜周向均布设有多个支耳，相邻所述支耳之间为圆滑过渡的缺口部；所述支耳下侧面设有嵌合安装部，所述嵌合安装部与所述第二嵌合限位部适配嵌合；所述振膜座圈完全覆盖所述缺口部。

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