湖南玉丰真空科学技术有限公司张展荣获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南玉丰真空科学技术有限公司申请的专利一种基于卷对卷CVD镀膜的基材张力调节装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120888910B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511396646.0,技术领域涉及:C23C16/54;该发明授权一种基于卷对卷CVD镀膜的基材张力调节装置是由张展荣;李赞;刘国利;袁帅;张听林;谢力争;欧阳杰;李国强设计研发完成,并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于卷对卷CVD镀膜的基材张力调节装置在说明书摘要公布了:本发明涉及CVD镀膜技术领域,尤其涉及一种基于卷对卷CVD镀膜的基材张力调节装置,包括箱体、第一螺杆、管道和活动块,箱体内部安装有反应室,箱体内部安装有若干导向辊,若干所述导向辊之间安装有调节辊,箱体内部转动安装有第一螺杆,箱体内部滑动安装有安装座,安装座与第一螺杆螺纹连接,安装座内部对称固定连接有套筒,套筒的内壁滑动安装有活塞,两个所述活塞相互远离的一端固定安装有固定块,本发明通过套筒、活塞及氮气构成的缓冲系统,能在调节辊上下移动时提供柔性缓冲,有效缓解瞬间张力变化对薄膜基材的冲击。当调节辊下降或上升时,对应方向的套筒可自动注入氮气,利用气体的可压缩性实现平稳调节,显著降低了基材拉伸破损的风险。
本发明授权一种基于卷对卷CVD镀膜的基材张力调节装置在权利要求书中公布了:1.一种基于卷对卷CVD镀膜的基材张力调节装置,其特征在于,包括: 箱体1,箱体1内部安装有反应室2,箱体1内部安装有若干导向辊3,若干所述导向辊3之间安装有调节辊4; 第一螺杆5,箱体1内部转动安装有第一螺杆5,箱体1内部滑动安装有安装座6,安装座6与第一螺杆5螺纹连接,安装座6内部对称固定连接有套筒7,套筒7的内壁滑动安装有活塞8,两个所述活塞8相互远离的一端固定安装有固定块9,调节辊4与固定块9的一侧固定连接; 管道10,两个所述套筒7的一端伸出安装座6并连通有管道10,两个所述管道10的一端连通有安装框11,安装框11与安装座6的一侧固定安装; 活动块12,安装框11内部滑动安装有活动块12,活动块12的内部安装有Z型气道13,Z型气道13的一端接通有输气管14。
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