南通昕东燃机电科技有限公司王灿获国家专利权
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龙图腾网获悉南通昕东燃机电科技有限公司申请的专利一种半导体加工用冷却装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120901477B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511433646.3,技术领域涉及:B23K26/146;该发明授权一种半导体加工用冷却装置是由王灿设计研发完成,并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工用冷却装置在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体加工技术领域,且公开了一种半导体加工用冷却装置,包括机体和控制屏,机体的内壁安装有两个直线电机一,其输出端设有直线电机二,直线电机二的输出端设有激光切割器,机体的内壁设置有辅助装置,本发明中,通过导热托板配合导热盖板,导热托板大面积导热,导热盖板配合凹槽小面积导热,大大提高了热量传导效率,同时循环组件可以快速带走导热托板表面的热量进行冷却,有效减少因局部过热导致硅片变形、损坏等问题,保证了硅片加工的精度和质量,导热盖板在切割过程中能够有效遮挡烟尘和飞溅物,减少其落在硅片上,减少对硅片表面造成污染和损伤,有助于维持硅片的洁净度,保证产品质量,减少因污染导致的次品率。
本发明授权一种半导体加工用冷却装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体加工用冷却装置,包括机体1和控制屏2,所述机体1的内壁安装有两个直线电机一3,其输出端设有直线电机二4,所述直线电机二4的输出端设有激光切割器5,其特征在于:所述机体1的内壁设置有辅助装置6; 所述辅助装置6包括通过螺丝安装在机体1内壁中的安装座61,所述安装座61的上表面安装有多个支架63,所述支架63的上端安装有导热托板64,所述导热托板64的内壁开设有腔体69,所述导热托板64的下方固定连接有与腔体69相连通的进液管610和出液管611,所述支架63上安装有固定座6111,所述固定座6111的内壁设置有夹持部,所述固定座6111的两侧分别固定连接有升降架612,升降架612的内壁转动连接有架体613,所述升降架612的表面固定连接有翻转电机614,所述翻转电机614的输出端与架体613固定连接,所述架体613的一侧设置有导热盖板65,导热盖板65的表面固定连接有与架体613内壁插接的凸块617,所述架体613的表面设置有脱离组件615,所述导热盖板65的内壁开设有凹槽68,所述凹槽68和导热托板64的内壁分别固定连接有磁柱67和磁环66; 所述机体1的内壁设置有与多个进液管610和出液管611连接的循环组件9; 所述导热托板64和导热盖板65均为铜质材料,所述导热托板64和导热盖板65的尺寸小于成型硅片C的尺寸; 所述循环组件9包括安装在机体1内壁中的箱体91,所述箱体91的上表面设置有泵体92,所述泵体92的输入端固定连接有抽吸管93,抽吸管93的另一端插入箱体91内,所述泵体92的输出端与进液管610之间设置有进水连接件7,所述箱体91与出液管611之间设置有回水连接件8,所述箱体91上还设置有搅拌部和温度控制部; 所述脱离组件615包括固定在架体613内壁中的两个脱离气缸6151,所述脱离气缸6151的输出端固定连接有卡块6152,所述卡块6152与凸块617的内壁插接; 所述夹持部包括与固定座6111内壁滑动连接的夹块619,所述夹块619内侧呈弧形设置,所述固定座6111的内壁固定连接有夹持气缸618,所述夹持气缸618的输出端与夹块619的表面固定连接。
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