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龙图腾网获悉江苏上达半导体有限公司申请的专利一种COF封装基材化学活化处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120914147B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511411452.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种COF封装基材化学活化处理装置是由戚胜利;韩少华;孙飞;杨洁;方磊;黄春生;叶新智设计研发完成，并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种COF封装基材化学活化处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开的一种COF封装基材化学活化处理装置，属于柔性基材处理技术领域，包括用于活化的活化箱，所述活化箱侧壁安装有用于支撑和固定的第一支撑板，所述第一支撑板上安装有抬升组件，所述抬升组件下端安装有调控驱动组件，所述调控驱动组件上端活动安装有线性震动组件，所述调控驱动组件下端活动安装有旋转组件，所述旋转组件和线性震动组件均活动设于活化箱内；线性震动组件和旋转组件的晃动均可促使气泡脱离，同时减少金属离子在基材表面的沉积，避免后续封装时出现导电短路现象；在不断的旋转和自转的过程中，使所有基材均能接触不同区域的溶液，避免局部基材长期处于低浓度溶液中，出现活化不均的现象。

本发明授权一种COF封装基材化学活化处理装置在权利要求书中公布了：1.一种COF封装基材化学活化处理装置，包括用于活化的活化箱，所述活化箱侧壁安装有用于支撑和固定的第一支撑板，所述第一支撑板上安装有抬升组件，所述抬升组件下端安装有调控驱动组件，所述调控驱动组件上端活动安装有线性震动组件，所述调控驱动组件下端活动安装有旋转组件，所述旋转组件和线性震动组件均活动设于活化箱内； 所述调控驱动组件包括固定盘，所述固定盘设于抬升组件的下端，所述固定盘内侧壁设有侧轮齿，侧轮齿设有多组，多组所述侧轮齿呈环形等间隔均匀设于固定盘内侧壁上，所述固定盘上活动安装有转盘，所述转盘设于侧轮齿的下端，所述转盘上活动安装有从动齿轮，从动齿轮设有多组，多组所述从动齿轮呈环形等间隔均匀设于转盘上，所述转盘上活动安装有主动齿轮，所述主动齿轮设于转盘中心位置，所述从动齿轮设于主动齿轮外侧，所述从动齿轮与侧轮齿啮合连接； 所述主动齿轮上壁设有滑槽，所述滑槽包括凹槽和凸槽，所述凹槽和凸槽均设有多组，且数量相同，所述凹槽和凸槽间隔放置，所述凹槽和凸槽内侧壁均设有限位槽，所述线性震动组件的一端活动卡接设于滑槽和限位槽内； 所述线性震动组件设有多组，多组所述线性震动组件呈环形等间隔均匀设于固定盘上，任一组所述线性震动组件包括固定块、驱动杆和第一安装件，所述固定块设于固定盘上壁上，所述驱动杆的上端活动贯穿固定块设置，活动卡接设于所述固定块上的驱动杆的一端安装有连接件，所述连接件上设有限位板； 所述旋转组件设有多组，多组所述旋转组件的数量与从动齿轮、线性震动组件的数量相同，多组所述旋转组件分别与从动齿轮中心相连，任一组所述旋转组件包括旋转杆和第二安装件，所述旋转杆的上端活动贯穿转盘后与从动齿轮中心相连，所述第二安装件设于旋转杆的下端； 所述主动齿轮下端安装有旋转辊，所述旋转辊活动贯穿转盘中心设置，所述旋转辊的下端设于第二安装件之间，设于第二安装件之间的旋转辊上设有搅拌件。

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