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上海新昇半导体科技有限公司;太原晋科硅材料技术有限公司蒋俊南获国家专利权

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龙图腾网获悉上海新昇半导体科技有限公司;太原晋科硅材料技术有限公司申请的专利基片转移装置及转移方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120914152B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511417180.8,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权基片转移装置及转移方法是由蒋俊南;朱远方;邱耀武;王伟;杨雅斌设计研发完成,并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

基片转移装置及转移方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,提供了一种基片转移装置及转移方法,所述基片转移装置,包括储料台、承台和转运台;所述储料台上具有多个第一储料槽,所述承台设置有多个第二储料槽;所述基片转移装置被配置为:所述储料台运动与所述转运台接触,并被所述转运台定位,使得所述第一储料槽与所述第二储料槽沿第一方向正对,且所述第一储料槽内的基片与所述承台具有设定距离;所述转运台载着所述储料台相对所述承台沿所述第一方向运动以将所述第一储料槽内的基片转移至所述第二储料槽内。上述基片转移装置可解决基片转移过程中的错槽叠片现象。

本发明授权基片转移装置及转移方法在权利要求书中公布了:1.一种基片转移装置,其特征在于,包括:储料台、承台和转运台; 所述储料台上具有多个第一储料槽,所述第一储料槽用于存储基片;所述承台设置有多个与各第一储料槽匹配的第二储料槽;所述转运台用于将所述储料台定位并转运所述储料台; 所述基片转移装置被配置为:所述储料台运动与所述转运台接触,并被所述转运台定位,使得所述第一储料槽与所述第二储料槽沿第一方向正对,且所述第一储料槽内的基片与所述承台具有设定距离,所述第一方向为竖向方向;所述转运台载着所述储料台相对所述承台沿所述第一方向运动以将所述第一储料槽内的基片转移至所述第二储料槽内; 所述储料台上沿所述第一方向设置有一贯通的镂空区,所述第一储料槽位于所述镂空区的两侧; 所述转运台载着所述储料台沿所述第一方向相对所述承台运动时,所述承台穿过所述镂空区,以将所述第一储料槽内的基片转移至所述第二储料槽内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海新昇半导体科技有限公司;太原晋科硅材料技术有限公司,其通讯地址为:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路1000号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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