清华大学冯雪获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利基于结构预应变的微纳声学换能器和超声成像探头获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120920343B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511461159.8,技术领域涉及:B06B1/02;该发明授权基于结构预应变的微纳声学换能器和超声成像探头是由冯雪;王慕尧;马寅佶;饶正飞设计研发完成,并于2025-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于结构预应变的微纳声学换能器和超声成像探头在说明书摘要公布了:本申请提出一种基于结构预应变的微纳声学换能器和超声成像探头,包括:第一电极2;第二电极6;以及振膜层5,所述第二电极6附着于所述振膜层5,所述第一电极2和所述振膜层5间隔开,在所述第一电极2和所述振膜层5之间形成空腔3,在不向所述第一电极2和所述第二电极6施加电压的状态下,所述振膜层5和所述第二电极6的部分区域均向所述空腔3弯曲凹陷。
本发明授权基于结构预应变的微纳声学换能器和超声成像探头在权利要求书中公布了:1.一种基于结构预应变的微纳声学换能器,其特征在于,包括: 第一电极2; 第二电极6;以及 振膜层5,所述第二电极6附着于所述振膜层5,所述第一电极2和所述振膜层5间隔开,在所述第一电极2和所述振膜层5之间形成空腔3,在不向所述第一电极2和所述第二电极6施加电压的状态下,所述振膜层5和所述第二电极6的部分区域均向所述空腔3弯曲凹陷, 所述振膜层5包括至少两层热膨胀系数不同的振膜层,热膨胀系数不同的振膜层通过温度变化产生的内应力使所述振膜层5保持向所述空腔3凹陷的状态, 所述微纳声学换能器还包括支撑层4,所述支撑层4设置于所述第一电极2和所述振膜层5之间,所述支撑层4包括支撑部,所述振膜层5和所述第二电极6的边缘区域被所述支撑部支撑,所述振膜层5和所述第二电极6的中间区域向所述空腔3凹陷。
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