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龙图腾网获悉星云量科(北京)科技发展有限公司申请的专利半导体芯片缺陷检测定位方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120928156B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511024090.2，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权半导体芯片缺陷检测定位方法及系统是由陈水龙;戴晓丽设计研发完成，并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体芯片缺陷检测定位方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供半导体芯片缺陷检测定位方法及系统，涉及半导体芯片检测技术领域，包括获取原始图像及电学测试数据；基于局部密度分析形成缺陷候选区域；对电学数据执行变分模态分解并标记电特性异常点；将图像特征映射至电特性空间并计算互信息值确定缺陷点；计算扩散场分布及路径并确定缺陷严重程度。本发明实现了芯片缺陷的精确定位与严重程度评估，提高了检测效率和准确性。

本发明授权半导体芯片缺陷检测定位方法及系统在权利要求书中公布了：1.半导体芯片缺陷检测定位方法，其特征在于，包括： 获取待测半导体芯片的原始图像及不同采样点的电学测试数据； 计算原始图像中每个像素点的局部密度值，并计算与区域密度均值的偏差，将超过偏差阈值的像素点聚类形成缺陷候选区域； 对所述不同采样点的电学测试数据执行变分模态分解，得到本征模态函数组，对本征模态函数执行希尔伯特变换并计算瞬时频率，将超过频率阈值的采样点标记为电特性异常点，包括： 在滑动时间窗口内计算所述不同采样点的电学测试数据的局部方差，将所述局部方差作为约束条件执行变分模态分解得到本征模态函数组，计算所述本征模态函数组中每个本征模态函数的能量密度，计算能量密度大于能量阈值的本征模态函数之间的正交性指标，将正交性指标小于正交阈值的本征模态函数确定为有效本征模态函数； 对所述有效本征模态函数执行希尔伯特变换得到解析信号，基于所述解析信号的零交叉特性计算广义零交叉率，将所述广义零交叉率的时间导数除以频率归一化系数得到瞬时频率； 根据采样点的位置距离分配空间权重系数，将所述空间权重系数与所述瞬时频率的乘积之和除以所述空间权重系数之和得到基准频率；计算不同采样点的瞬时频率与基准频率的频率偏差值，将超过频率阈值的采样点标记为电特性异常点； 将缺陷候选区域的图像特征通过非线性变换映射到电特性参数空间，将电特性异常点通过反向映射转换为图像空间的异常概率分布，计算所述电特性参数空间和所述图像空间的特征互信息值，当特征互信息值大于相关性阈值时确定该位置存在缺陷点； 以缺陷点位置为源点计算扩散场分布，结合电特性异常点的时空演化规律，预测缺陷的扩散路径；计算扩散路径上各采样点的图像特征的相关系数，确定缺陷的严重程度。

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