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龙图腾网获悉清软微视(杭州)科技有限公司申请的专利一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120928544B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511445876.1，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头是由周继乐;陈仕江;张凌民;时彩红设计研发完成，并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头，涉及光学器件技术领域，该物镜镜头包括按照光线射入方向顺序设置三个透镜组，光焦度分别为正、负、正，第一透镜组包括光焦度为正的第一透镜、光焦度为负的第二透镜与光焦度为正的第三透镜，第二透镜组包括光焦度为正的第四透镜与光焦度为负的第五透镜，第三透镜组包括光焦度为负的第六透镜、光焦度为正的第七透镜与光焦度为正的第八透镜，采用上述透镜排布构成的物镜镜头，在用于晶圆检测成像的过程中，能够校正多种成像差，特别是畸变、场曲、像散、轴向色差与倍率色差，具备较高的分辨率和较大的视场，视场达40mm，理论分辨率为σ为3μm，能够较大地提升晶圆的检测效率。

本发明授权一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头，所述物镜镜头包括透镜组，其特征在于，所述透镜组由按照光线出射方向顺序设置的光焦度为正的第一透镜组、光焦度为负的第二透镜组与光焦度为正的第三透镜组组成； 所述第一透镜组由按照光线射入方向顺序设置的光焦度为正的第一透镜、光焦度为负的第二透镜与光焦度为正的第三透镜组成； 所述第二透镜组由按照光线射入方向顺序设置的光焦度为正的第四透镜与光焦度为负的第五透镜组成； 所述第三透镜组由按照光线射入方向顺序设置的光焦度为负的第六透镜、光焦度为正的第七透镜与光焦度为正的第八透镜组成； 其中，所述第一透镜组接收光源并将光源折射至所述第二透镜组，所述第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线并折射至第三透镜组，所述第三透镜组收集从第二透镜组出射的光线并使光线聚焦于晶圆的表面，且物镜镜头中的所有透镜均处于同一光轴，光阑位于所述第一透镜之前； 所述物镜镜头的带宽为456nm±5nm，数值孔径NA为0.095，物方视场Φ为40mm，理论分辨率σ为3μm，且所述物镜镜头中每个透镜组的每个透镜均镀有同等带宽的增透膜。

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