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龙图腾网获悉苏州鸿安机械股份有限公司申请的专利一种晶圆搬运速度控制方法及控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120928710B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511465168.4，技术领域涉及：G05B13/04；该发明授权一种晶圆搬运速度控制方法及控制系统是由刘大庆;吕林杰;李自立;周军;朱跃;黄三荣设计研发完成，并于2025-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆搬运速度控制方法及控制系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆搬运速度控制方法及控制系统，控制方法包括：获取搬运路径三维数据并分解为直线与弯曲段，得到几何特征；计算弯曲段曲率并平滑连接，确定连续曲率分布；依据曲率动态约束各点速度上限，生成初步速度曲线；通过逆运动学计算各轴速度，迭代优化至各轴速度协调，生成多轴协同速度序列；基于实时传感器数据融合计算姿态偏差；据此动态调节加速度参数，优化减小偏差，得到最终控制指令。本发明的控制方法通过曲率动态规划、多轴协同优化和实时姿态自适应调整，系统性地实现了搬运速度与平稳性的同步提升。

本发明授权一种晶圆搬运速度控制方法及控制系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运速度控制方法，其特征在于：包括以下步骤： 获取物体搬运路径的三维坐标数据，通过预设的路径分解算法将其分割成直线段和弯曲段，得到各段的几何特征描述； 根据得到的几何特征描述，针对弯曲段计算轨迹曲率值，平滑连接直线段和弯曲段，确定连续的路径曲率分布；包括：基于曲线段的几何特征描述，采用曲率连续性约束算法优化控制点排列，生成曲率平滑过渡的拟合曲线；基于直线段的几何特征描述，计算直线到曲线的连接点处的曲率变化率，基于所述曲率变化率，采用贝塞尔曲线拼接算法在直线段与曲线段的连接处生成平滑过渡段；根据曲率平滑过渡的拟合曲线和平滑过渡段，计算路径上连续采样点的曲率值，生成离散曲率分布序列；对所述离散曲率分布序列采用高斯滤波算法进行平滑处理，消除局部曲率波动，得到连续的路径曲率分布； 基于所述路径曲率分布，根据曲率值动态约束路径点的速度上限，生成初步速度规划曲线； 针对得到的初步速度规划曲线，获取多轴运动的关节参数，通过逆运动学算法计算各轴的速度向量，并对其进行迭代优化，以使各轴速度向量的差异处于协调阈值之内，从而生成协调后的多轴速度序列；包括：获取初步速度规划曲线，从中提取多轴运动的关节参数，确定各轴的初始运动状态；通过逆运动学算法，针对提取的关节参数，计算各轴的关节速度向量，得到初始速度向量集合；基于所述初始速度向量集合，采用粒子群优化算法迭代调整各轴的关节速度向量，以最小化各轴速度向量间的差异为目标，从而得到优化后的速度向量集合；通过优化后的速度向量集合，生成协调的多轴速度序列，确定各轴的运动轨迹； 从确定的协调后的多轴速度序列中，针对姿态稳定需求，获取实时传感器反馈的物体倾斜角度，通过卡尔曼滤波融合位置和角度数据，得到姿态偏差估计值； 基于所述姿态偏差估计值，动态调节所述多轴速度序列中的加速度参数，并采用优化算法减小所述姿态偏差，从而确定优化的速度控制指令，包括：从传感器数据获取姿态偏差估计值和多轴速度序列，采用预设的阈值对所述姿态偏差估计值进行分类，若所述姿态偏差估计值大于阈值，则通过卡尔曼滤波算法进行平滑处理，得到平滑后的偏差数据；根据所述偏差数据，提取多轴速度序列中的加速度参数，采用逻辑判断确定所述加速度参数是否超出预设范围，若超出，则通过梯度下降算法调整所述加速度参数，得到优化的加速度参数；通过所述加速度参数，结合实时反馈的传感器数据，采用动态调节机制对所述多轴速度序列进行更新，生成调整后的多轴速度序列；根据所述多轴速度序列，采用逻辑判断生成控制指令，得到优化的速度控制指令。

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