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龙图腾网获悉苏州仕科泰新材料科技有限公司申请的专利一种基于化学气相沉积反应器的清洗装置及其残渣回收结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120945346B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511492594.7，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种基于化学气相沉积反应器的清洗装置及其残渣回收结构是由朱双林;马国忠设计研发完成，并于2025-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于化学气相沉积反应器的清洗装置及其残渣回收结构在说明书摘要公布了：本发明涉及化学气相沉积设备技术领域，且公开了一种基于化学气相沉积反应器的清洗装置及其残渣回收结构，包括CVD反应器1，CVD反应器1内设置有反应部2，作为CVD反应器1的基础承载与工艺适配结构，提供反应所需温度环境，辅助残渣向回收区域汇聚，为后续真空电解清洁提供电极基础，反应部2包括有加热板21，加热板21呈环形阵列安装在CVD反应器1内，CVD反应器1内连接有两个横梁22，两个横梁22之间对称安装有引导板23，采用螺旋电极的真空电解作用产生氧化性自由基氧化金属氧化物残渣，紫外线灯与透光柱阵列形成全域光解照射，两者协同对碳基、金属基等多类型残渣实现高效分解，解决传统单一清洁技术适应性差的问题。

本发明授权一种基于化学气相沉积反应器的清洗装置及其残渣回收结构在权利要求书中公布了：1.一种基于化学气相沉积反应器的清洗装置，包括CVD反应器1，其特征在于：所述CVD反应器1内设置有反应部2，所述反应部2包括有加热板21，所述加热板21呈环形阵列安装在CVD反应器1内，所述CVD反应器1内连接有两个横梁22，两个所述横梁22之间对称安装有引导板23，两个所述引导板23之间卡接有透光板24，所述加热板21上安装有螺旋电极27； 反应部2上设置有安装部3，所述安装部3包括有灯架31，所述灯架31安装在透光板24上，所述安装部3上设置有光解部4，所述光解部4包括有紫外线灯45，所述紫外线灯45安装在灯架31上； 安装部3还包括有螺孔32，所述螺孔32开设在透光板24上，所述透光板24上还开设有限位孔33和滑孔34，所述透光板24上安装有弧形挡板35； 透光板24上设置有光补偿部5，所述光补偿部5包括有滑架51，所述滑架51是U型结构，所述滑架51的耳端与滑孔34滑动连接，所述滑架51的耳端上固定连接有棱形架52，所述棱形架52上固定连接有透光柱55，所述透光柱55呈棱形阵列设置。

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