中国科学院空天信息创新研究院陈德勇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院空天信息创新研究院申请的专利基于参数泵浦的双闭环谐振式压力传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120970858B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511502111.7,技术领域涉及:G01L1/10;该发明授权基于参数泵浦的双闭环谐振式压力传感器是由陈德勇;夏文良;王军波;谢波;鲁毓岚设计研发完成,并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于参数泵浦的双闭环谐振式压力传感器在说明书摘要公布了:本申请提供了一种基于参数泵浦的双闭环谐振式压力传感器,设计传感器技术领域,包括:单谐振器,其第一驱动电极和第二驱动电极分别用于对单谐振器施加交流驱动信号和对单谐振器施加参数泵浦交流信号,参数泵浦交流信号的频率为单谐振器的一阶模态与二阶模态的频率和,其第一检测电极和第二检测电极用于检测单谐振器的谐振频率和振幅;闭环控制电路,用于将第一检测电极和第二检测电极检测的振动信号差分放大,得到二阶模态振动信号,将二阶模态振动信号调整后反馈施加到第一驱动电极,以维持单谐振器的自激振动;参数泵浦反馈控制环路,用于检测二阶模态振动信号的振幅,与参考振幅对比得到误差信号,根据误差信号产生参数泵浦交流信号。
本发明授权基于参数泵浦的双闭环谐振式压力传感器在权利要求书中公布了:1.一种基于参数泵浦的双闭环谐振式压力传感器,其特征在于,包括: 单谐振器,具有第一驱动电极、第二驱动电极、第一检测电极、第二检测电极和谐振梁;所述第一驱动电极和所述第二驱动电极设于所述谐振梁的一侧;所述第一检测电极和所述第二检测电极设于所述谐振梁的另一侧;所述第一驱动电极和所述第二驱动电极与所述第一检测电极和所述第二检测电极对称设置; 所述第一驱动电极用于对所述单谐振器施加交流驱动信号;所述第二驱动电极用于对所述单谐振器施加参数泵浦交流信号,所述参数泵浦交流信号的频率为所述单谐振器的一阶模态与二阶模态的频率和;所述第一检测电极和所述第二检测电极用于检测所述单谐振器的谐振频率和振幅; 闭环控制电路,其第一输入端连接所述第一检测电极,其第二输入端连接所述第二检测电极,用于将所述第一检测电极和所述第二检测电极检测的振动信号进行差分放大处理,得到二阶模态振动信号,将所述二阶模态振动信号进行相位调整和增益控制后施加到所述第一驱动电极,以维持所述单谐振器的自激振动,所述单谐振器工作在反对称二阶模态; 参数泵浦反馈控制环路,用于检测所述二阶模态振动信号的振幅,与参考振幅对比得到误差信号,根据所述误差信号产生所述参数泵浦交流信号。
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