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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利一种晶圆定位夹持装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120977946B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511500429.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆定位夹持装置是由夏子奂;王秋瑾设计研发完成，并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆定位夹持装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆定位夹持装置，包括晶圆载台，包括支撑部和承载部；承载部设于支撑部，承载部上开设至少一个夹持通道和多个同心设置的放置槽；多个放置槽的直径由内而外依次增大，以承载不同尺寸的晶圆；夹持通道自承载部的外部向中部延伸以使放置槽均与夹持通道连通；定位部，设于承载部，以定位晶圆；至少两个夹持部，均设于支撑部，并与夹持通道的位置对应；夹持部具有可移动的夹持端；夹持端沿夹持通道靠近承载部的中部，与定位部配合，形成至少三个接触点，以夹持晶圆；夹持端沿夹持通道远离承载部的中部，以松开晶圆。本发明能够能适应不同尺寸晶圆并提升晶圆夹持可靠性。

本发明授权一种晶圆定位夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位夹持装置，其特征在于，包括： 晶圆载台100，包括支撑部110和承载部120；所述承载部120设于所述支撑部110，所述承载部120上开设至少一个夹持通道140和多个同心设置的放置槽130；多个所述放置槽130的直径由内而外依次增大，以承载不同尺寸的晶圆；所述夹持通道140自所述承载部120的外部向中部延伸以使所述放置槽130均与所述夹持通道140连通； 定位部200，设于所述承载部120，所述定位部200包括静止部210和移动部220，所述静止部210具有抵接面211，所述抵接面211用于与所述晶圆的边缘的平面抵接；所述移动部220可移动的设于所述承载部120，以与所述晶圆的边缘的缺口抵接；以定位所述晶圆；所述静止部210包括多个静止定位件212；每个所述静止定位件212对应一个所述放置槽130，且所述静止定位件212设于所述放置槽130的侧壁，所述静止定位件212正对所述放置槽130的中部的端面为所述抵接面211；所述承载部120上开设有定位通道121，所述定位通道121自所述承载部120的外部向所述承载部120的内部延伸，贯穿多个所述静止定位件212，并与多个所述放置槽130连通；所述移动部220可移动的设于所述定位通道121；所述移动部220沿所述定位通道121靠近所述承载部120的中部，与所述晶圆的边缘的缺口配合，以定位所述晶圆； 至少两个夹持部300，均设于所述支撑部110，并与所述夹持通道140的位置对应；所述夹持部300具有可移动的夹持端301；所述夹持端301沿所述夹持通道140靠近所述承载部120的中部，与所述定位部200配合，形成至少三个接触点，以夹持所述晶圆；所述夹持端301沿所述夹持通道140远离所述承载部120的中部，以松开所述晶圆。

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