西安唐晶量子科技有限公司龚平获国家专利权
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龙图腾网获悉西安唐晶量子科技有限公司申请的专利一种VCSEL外延片厚度均匀性检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121033056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511567111.5，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种VCSEL外延片厚度均匀性检测方法是由龚平;夏天文;刘邦;韩洋佳;范星;王元设计研发完成，并于2025-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种VCSEL外延片厚度均匀性检测方法在说明书摘要公布了：本发明属于图像处理技术领域，具体涉及一种VCSEL外延片厚度均匀性检测方法，其方法包括：获取VCSEL外延片进行空间对齐后的厚度图谱和良率图谱；得到厚度图谱中每个位置的全局背景厚度；计算各位置的邻域内厚度偏差的波动标准差；获取邻域异常分数、邻域失效率、获得邻域基准参数；根据各位置的邻域异常分数与邻域失效率的乘积、邻域基准参数以及皮尔逊相关系数三者间的相对偏离与相关性加权关系，计算得到问题归因风险指数；根据问题归因风险指数推断异常模式类型、生成归因报告。本发明解决了现有技术对VCSEL外延片厚度与良率关联归因能力缺失的问题。
本发明授权一种VCSEL外延片厚度均匀性检测方法在权利要求书中公布了：1.一种VCSEL外延片厚度均匀性检测方法，其特征在于，包括： 获取VCSEL外延片进行空间对齐后的厚度图谱和良率图谱；对厚度图谱中每个位置，对其邻域内的原始厚度值进行基于邻域内各点到该位置的欧氏距离的加权平均，得到该位置的全局背景厚度； 计算厚度图谱中各位置的原始厚度值与所述全局背景厚度的差异，得到厚度偏差；计算各位置的邻域内厚度偏差的波动标准差；将各位置的厚度偏差的绝对值与波动标准差的比值，作为邻域异常分数； 计算各位置的邻域内各点的平均良率值，并以1与平均良率值的差值，作为邻域失效率；在各位置的邻域内，计算所述邻域异常分数与邻域失效率乘积的平均值，获得邻域基准参数；根据各位置的邻域异常分数与邻域失效率的乘积、邻域基准参数以及皮尔逊相关系数三者间的相对偏离与相关性加权关系，计算得到问题归因风险指数； 根据问题归因风险指数推断异常模式类型；根据异常模式类型生成归因报告。
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