苏州芯钛半导体科技有限公司苏勇信获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯钛半导体科技有限公司申请的专利上下喷淋清洗结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223717807U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423192076.7，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型上下喷淋清洗结构是由苏勇信;吴明芳;齐羿;饶文议;程正昇设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本上下喷淋清洗结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体清洗技术领域，涉及一种上下喷淋清洗结构。本实用新型的输送轨道将晶圆产品输送至清洗工位上，定位机构对输送轨道上的晶圆产品进行位置定位后，驱动组件带动喷淋头对晶圆产品的上表面进行喷淋清洗，喷淋机构对晶圆产品的下表面进行喷淋清洗，可以在线对晶圆产品的上下表面进行同步清洗，极大地提高了清洗效率，无需对晶圆产品进行翻转就可以被清洗的彻底，使得晶圆的清洗效果达到最佳。
本实用新型上下喷淋清洗结构在权利要求书中公布了：1.一种上下喷淋清洗结构，其特征在于，包括： 输送轨道，其上设置有清洗工位，所述输送轨道用于将晶圆产品输送至清洗工位上； 定位机构，设置于所述清洗工位上，所述定位机构用于对输送轨道上的晶圆产品进行位置定位； 清洗机构，设置于所述清洗工位上方，所述清洗机构包括驱动组件以及喷淋头，所述驱动组件与所述喷淋头驱动连接，所述驱动组件用于带动所述喷淋头对晶圆产品的上表面进行喷淋清洗； 喷淋机构，设置于所述清洗工位下方，所述喷淋机构用于对晶圆产品的下表面进行喷淋清洗。
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