拓荆科技(上海)有限公司杨辰烨获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利多机台工艺模块共用前级管路清洗装置及其薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223717899U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520262256.3，技术领域涉及：B08B9/032；该实用新型多机台工艺模块共用前级管路清洗装置及其薄膜沉积设备是由杨辰烨设计研发完成，并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本多机台工艺模块共用前级管路清洗装置及其薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种多机台工艺模块共用前级管路清洗装置，其包括：前级管路清洗模块以及与所述前级管路清洗模块连接的至少两个机台工艺模块；所述前级管路清洗模块包括：气箱，与所述气箱连通的等离子体产生单元，以及连接于所述等离子体产生单元的输出端连接的至少两个气阀，所述气阀分别控制其中一路供给所述机台工艺模块的清洗气。本实用新型还公开了一种薄膜沉积设备，其采用一台前级管路清洗模块同时或分步为至少两组机台的工艺模块提供清洗工艺，不仅提高了前级管路清洗模块的使用率，而且结构简单，减小了设备占用空间，方便机台维护，降低了装置制造成本。
本实用新型多机台工艺模块共用前级管路清洗装置及其薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种多机台工艺模块共用前级管路清洗装置，其特征在于，包括：前级管路清洗模块以及与所述前级管路清洗模块连接的至少两个机台工艺模块； 所述前级管路清洗模块包括：气箱，与所述气箱连通的等离子体产生单元，以及连接于所述等离子体产生单元的输出端连接的至少两个气阀； 所述气箱用于向所述等离子体产生单元提供气源； 所述等离子体产生单元用于将所述气箱提供的气源电离产生等离子体； 所述气阀用于控制所述等离子体产生单元电离产生的等离子体输送至所述机台工艺模块，以对所述机台工艺模块的前级管路进行清洗。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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