东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司李帅辰获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利电子束偏转加速装置及半导体器件检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223729988U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520076545.4，技术领域涉及：H05H7/00；该实用新型电子束偏转加速装置及半导体器件检测设备是由李帅辰;杨辉设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束偏转加速装置及半导体器件检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体检测技术领域，特别是涉及一种电子束偏转加速装置及半导体器件检测设备。该电子束偏转加速装置包括支撑筒、增速筒、一个或多个偏转组件。支撑筒由绝缘材料制成，支撑筒限定出贯穿通道。当偏转组件为多个时，多个偏转组件沿贯穿通道的轴向方向依次间隔设置。每个偏转组件设置于支撑筒的外周壁上，每个偏转组件具有至少一个用于产生磁场的偏转线圈。增速筒限定出电子束通道；增速筒沿贯穿通道的轴向方向延伸，增速筒的至少部分位于贯穿通道内。本实用新型的电子束偏转加速装置具有结构简单、生产成本低和使用成本低的优点。
本实用新型电子束偏转加速装置及半导体器件检测设备在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体器件检测设备的电子束偏转加速装置，其特征在于，包括： 支撑筒，由绝缘材料制成，并限定出贯穿通道； 一个或多个沿所述贯穿通道的轴向方向依次间隔设置的偏转组件，每个所述偏转组件设置于所述支撑筒的外周壁上，具有至少一个用于产生磁场的偏转线圈； 增速筒，沿所述贯穿通道的轴向方向延伸，且至少部分位于所述贯穿通道内，所述增速筒限定出电子束通道。
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