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龙图腾网获悉常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利加热腔结构和硅片处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112251737B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011182874.5，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权加热腔结构和硅片处理设备是由左国军;梁建军;候岳明设计研发完成，并于2020-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本加热腔结构和硅片处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种加热腔结构和硅片处理设备。其中，加热腔结构包括：加热腔体，用于提供真空环境，加热腔体的侧壁上设有通孔；隔离套管，由通孔伸入加热腔体内，隔离套管的至少一端位于加热腔体外；加热器，加热器的发热部分设于隔离套管内，加热器的引线端由隔离套管位于加热腔体外的一端伸出；连接组件，用于固定隔离套管和加热器；其中，隔离套管与连接组件使加热腔体的内部与加热器以及外部大气隔离。本发明的技术方案，通过隔离套管与连接组件的配合实现了内部真空环境与外部大气环境的隔离，使得加热器的引线可在大气环境中接线，有效缓解了放电现象，可提高使用电压，有利于降低加热器的接线负担。

本发明授权加热腔结构和硅片处理设备在权利要求书中公布了：1.一种加热腔结构1，其特征在于，包括： 加热腔体11，用于提供真空环境，所述加热腔体11的侧壁111上设有通孔1121； 隔离套管12，由所述通孔1121伸入所述加热腔体11内，所述隔离套管12的至少一端位于所述加热腔体11外； 加热器13，所述加热器13的发热部分设于所述隔离套管12内，所述加热器13的引线端由所述隔离套管12位于所述加热腔体11外的一端伸出； 连接组件14，用于固定所述隔离套管12和所述加热器13； 其中，所述隔离套管12与所述连接组件14使所述加热腔体11的内部与所述加热器13以及外部大气隔离； 所述连接组件14包括： 法兰盘141，设于所述通孔1121处，并与所述加热腔体11的侧壁111连接，所述法兰盘141套设于所述隔离套管12上，所述法兰盘141的内侧壁111上设有密封结构，以对所述通孔1121进行密封； 第一支架142，设于所述隔离套管12位于所述加热腔体11外的一端，所述第一支架142分别与所述隔离套管12和所述加热器13连接，以对所述隔离套管12和所述加热器13进行定位，并使所述加热器13与所述隔离套管12之间保持非接触状态； 所述第一支架142包括： 第一管夹1421，包括第一夹持部1422和第一调整部1423，所述第一夹持部1422套设于所述隔离套管12上，所述第一调整部1423用于调整所述第一夹持部1422的尺寸大小，以使所述第一夹持部1422夹紧所述隔离套管12； 第二管夹1431，包括第二夹持部1432和第二调整部1433，所述第二夹持部1432套设于所述加热器13上，所述第二调整部1433用于调整所述第二夹持部1432的尺寸大小，以使所述第二夹持部1432夹紧所述加热器13； 连接板1441，分别与所述第一夹持部1422的底部和所述第二夹持部1432的底部固定连接，以对所述第一夹持部1422和所述第二夹持部1432进行定位； 所述第一夹持部1422包括两个相对设置的第一弧形板1424和一个第一槽形结构1425，所述第一调整部1423包括第一锁紧螺栓1426，所述第一槽形结构1425设于两个所述第一弧形板1424的底部，且所述第一槽形结构1425的两个侧板分别与两个所述第一弧形板1424连接，所述第一锁紧螺栓1426穿过所述第一槽形结构1425的两个侧板，用于调整两个所述第一弧形板1424之间的间距，以使两个所述第一弧形板1424夹紧所述隔离套管12； 所述第二夹持部1432包括两个相对设置的第二弧形板1434和一个第二槽形结构1435，所述第二调整部1433包括第二锁紧螺栓1436，所述第二槽形结构1435设于两个所述第二弧形板1434的底部，且所述第二槽形结构1435的两个侧板分别与两个所述第二弧形板1434连接，所述第二锁紧螺栓1436穿过所述第二槽形结构1435的两个侧板，用于调整两个所述第二弧形板1434之间的间距，以使两个所述第二弧形板1434夹紧所述加热器13； 所述连接板1441通过固定螺栓1442分别与所述第一槽形结构1425的底板以及所述第二槽形结构1435的底板固定连接； 所述连接组件14还包括： 第三管夹145，套设于所述隔离套管12位于所述加热腔体11外的部分，并夹紧所述隔离套管12，所述第三管夹145位于所述第一支架142与所述法兰盘141之间，且所述第三管夹145靠近所述法兰盘141的一端与所述法兰盘141相抵，以对所述隔离套管12进行轴向限位； 第二支架146，设于所述加热腔体11内，所述第二支架146的顶部与所述隔离套管12连接，所述第二支架146的底部与所述加热腔体11的底壁112连接； 支撑块147，设于所述隔离套管12内，并位于所述加热器13的下方，用于对所述加热器13位于所述隔离套管12内的部分提供支撑。

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