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龙图腾网获悉卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请的专利分析、成像和/或处理物体区域的方法及粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112666198B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010983847.1，技术领域涉及：G01N23/225；该发明授权分析、成像和/或处理物体区域的方法及粒子束装置是由G.帕维亚;D.唐豪瑟设计研发完成，并于2020-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本分析、成像和/或处理物体区域的方法及粒子束装置在说明书摘要公布了：本文描述的发明涉及一种用于对物体进行分析、成像和或处理的方法。而且，本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括：在物体的区域上布置材料层，使用第一粒子束来生成材料层的第一图像，使用激光束和或第二粒子束并且通过相对于这些部分层在移动方向上相对移动激光束和或第二粒子束来烧蚀材料层的部分层，当烧蚀材料层的部分层时以如下方式调整激光束和或第二粒子束的相对移动：材料层的第一部分层的第一厚度与材料层的第二部分层的第二厚度相同，并且在材料层已经被部分或完全烧蚀之后，使用第一粒子束来生成物体的区域的至少第二图像。

本发明授权分析、成像和/或处理物体区域的方法及粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种用于使用粒子束装置200对物体114的区域进行分析、成像和或处理的方法，该方法包括： -在物体114的区域上布置至少一个材料层140； -使用第一粒子束来生成该材料层140的至少一个第一图像，其中，使用第一粒子束发生器来生成该第一粒子束，其中，该第一粒子束包括第一带电粒子，其中，使用第一物镜107将该第一粒子束聚焦在该材料层140上，其中，当该第一粒子束撞击在该材料层140上时生成第一相互作用粒子和或第一相互作用辐射，并且其中，使用检测器116,117,121,134,500来检测这些第一相互作用粒子和或该第一相互作用辐射； -使用激光束和或第二粒子束并且通过相对于该材料层140的部分层在移动方向MD上相对移动该激光束和或该第二粒子束来烧蚀该材料层140的部分层，其中，使用激光装置700来生成该激光束，并且其中，使用第二粒子束发生器来生成该第二粒子束，其中，该第二粒子束包括第二带电粒子，其中，使用第二物镜304将该第二粒子束聚焦在这些部分层上，其中，这些部分层沿该移动方向MD布置； -在烧蚀该材料层140的这些部分层时，以如下方式调整该激光束和或该第二粒子束的相对移动：该材料层140的第一部分层的第一厚度与该材料层140的第二部分层的第二厚度相同或基本上相同；以及 -在该材料层140已经被部分或完全烧蚀之后，使用该第一粒子束来生成该物体114的区域的至少第二图像，其中，使用该第一物镜107将该第一粒子束聚焦在该物体114的区域上，其中，当该第一粒子束撞击在该物体114的区域上时生成第二相互作用粒子和或第二相互作用辐射，并且其中，使用该检测器116,117,121,134,500来检测这些第二相互作用粒子和或该第二相互作用辐射。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司显微镜有限责任公司，其通讯地址为：德国耶拿；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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