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龙图腾网获悉华东师范大学申请的专利一种可视化测量薄膜应力激光检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113889423B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111154932.8，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种可视化测量薄膜应力激光检测系统是由陈闻杰;林晓坤;王成真;牛康宇;谢子苗设计研发完成，并于2021-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可视化测量薄膜应力激光检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种可视化测量薄膜应力激光检测系统，属于半导体制造和检测技术领域。它包括激光测量模组，所述激光测量模组至少包括一维线性传感器，所述激光测量模组被配置为向晶圆表面发射激光并将晶圆反射的激光照射到一维线性传感器上；采集端，所述采集端被配置为采集一维线性传感器上光幕两端的电流变化；与所述采集端无线通信连接的主控制端，所述主控制端被配置为根据一维线性传感器上光幕两端的电流变化，计算晶圆薄膜应力数据，并根据晶圆薄膜应力数据生成可视化命令；将可视化数据发送到与所述主控制端通信连接的可视化终端实时展示。本发明采用数据可视化，并通过可视化平台手动选择不同的晶圆尺寸，不同的镀膜材料进行测量，实现一机多用。

本发明授权一种可视化测量薄膜应力激光检测系统在权利要求书中公布了：1.可视化测量薄膜应力激光检测系统，其特征在于，包括： 激光测量模组，所述激光测量模组至少包括一维线性传感器，所述激光测量模组被配置为向晶圆表面发射激光并将晶圆反射的激光照射到一维线性传感器上，并且激光在照射晶圆正中心位置点上时一维线性传感器上反射点位于光幕正中间位置，输出的位置偏差值为零； 采集端，所述采集端被配置为采集一维线性传感器上光幕两端的电流变化； 主控制端，所述主控制端被配置为根据一维线性传感器上光幕两端的电流变化，计算晶圆薄膜应力数据，并根据晶圆薄膜应力数据生成可视化命令； 与所述主控制端通信连接的可视化终端，所述可视化终端用于接收主控制端的可视化命令，对所述晶圆薄膜应力数据进行可视化展示； 根据晶圆薄膜应力数据生成可视化命令前，还包括： 根据晶圆薄膜应力数据，以晶圆中心点为翘起中心，向中心点左右方向延伸分布，建立晶圆薄膜弯曲度分布关系； 晶圆薄膜弯曲度分布关系为： 以晶圆中心点向左弯曲度分布关系式为：； 以晶圆中心点向右弯曲度分布关系式为：； 上式中，B为当前点的弯曲度，为上一个点的弯曲度，d为晶圆上采集点相邻两个点间的距离，为上一个点的曲率半径； 计算晶圆薄膜应力数据，还包括： 根据补偿后的镀膜前后晶圆的曲率半径，计算晶圆薄膜应力， 所述补偿关系式为： 其中，为标准理论曲率半径，，补偿系数，R为每个测量点的曲率半径，N为测量点个数，为比例系数，为积分系数； 所述主控制端被配置为根据一维线性传感器上光幕两端的电流变化，计算晶圆薄膜应力数据包括： 将一维线性传感器上光幕两端的上电流和下电流转换为上电压和下电压； 根据上下电压值计算出镀膜前后晶圆反射激光在光幕位置相对偏移量； 根据镀膜前后晶圆反射激光在光幕位置相对偏移量，计算镀膜前后晶圆的曲率半径； 根据镀膜前后晶圆的曲率半径，计算晶圆薄膜应力； 根据上下电压值计算出镀膜前后晶圆反射激光在光幕位置相对偏移量的计算公式为： ； 根据镀膜前后晶圆反射激光在光幕位置相对偏移量，计算镀膜前后晶圆的曲率半径的关系式为： ； 上式中，晶圆直径为D,N为测量点个数，即一维带载导轨每走为相对位置值Δd,光幕上激光相对偏移量为Δx,整个激光照射的路径长度为光路Κ。

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