株式会社国际电气中岛智志获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社国际电气申请的专利基板处理装置、半导体装置的制造方法、基板处理方法以及记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114846588B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180007530.7，技术领域涉及：H01L21/31；该发明授权基板处理装置、半导体装置的制造方法、基板处理方法以及记录介质是由中岛智志;涩谷光司设计研发完成，并于2021-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、半导体装置的制造方法、基板处理方法以及记录介质在说明书摘要公布了：能够抑制配管加热器的过度升温。具备：配管加热器，其对气体配管进行加热，所述气体配管向处理基板的处理室供给气体；温度检测部，其对所述气体配管的温度进行检测；温度调节器，其根据温度检测部检测出的温度，输出表示应提供给配管加热器的电力的操作量，进行使气体配管的温度接近目标值的控制；以及上位控制器，其对温度调节器的控制下的气体配管的加热的开始和停止进行控制，在温度调节器的控制下的气体配管的加热开始后，在操作量成为最大值的时间为阈值以上的情况下，上位控制器将温度调节器控制成停止气体配管的加热。
本发明授权基板处理装置、半导体装置的制造方法、基板处理方法以及记录介质在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 配管加热器，其对气体配管进行加热，所述气体配管向处理基板的处理室供给气体； 温度检测部，其对所述气体配管的温度进行检测； 温度调节器，其根据所述温度检测部检测出的温度，输出表示应提供给所述配管加热器的电力的操作量，进行使所述气体配管的温度接近目标值的控制；以及 上位控制器，其对所述温度调节器的所述控制下的所述气体配管的加热的开始和停止进行控制， 所述上位控制器在所述温度调节器的所述控制下的所述气体配管的加热开始后，反复取得所述温度检测部检测出的温度，累计所述操作量成为最大值且所述温度检测部检测出的温度与所述气体配管的加热开始时的温度的偏差小于预定的阈值的时间，在所述累计的时间为阈值以上的情况下，将所述温度调节器控制成停止所述气体配管的加热。
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