中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所单翀获国家专利权
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龙图腾网获悉中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所申请的专利一种光学元件激光损伤增长阈值的测试装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115371970B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211062433.0,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种光学元件激光损伤增长阈值的测试装置及方法是由单翀;李福建;夏兰;朱翔宇;崔勇;季来林;冯伟;赵晓晖;高妍琦;饶大幸;史建设计研发完成,并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学元件激光损伤增长阈值的测试装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种光学元件激光损伤增长阈值的测试装置及方法,本发明通过以损伤后入射光斑的调制度以及透过率作为依据,将传统测试方法中忽略的由于损伤产生的光场调制以及能量损耗效应进行分析,得到光学元件损伤增长过程中的功能性损伤增长阈值,从而规避了传统测试方法中只考虑损伤面积增长,而忽略损伤对于元件对装置产生影响以及元件本身功能性影响的评价,本发明的测试装置及测试方法不仅提高了测试精度,也为高功率激光装置中光学元件损伤阈值测试中提供了新的评价体系,并提供了更多相应的损伤信息。
本发明授权一种光学元件激光损伤增长阈值的测试装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种光学元件激光损伤增长阈值的测试装置,其特征在于,包括激光器1、衰减系统、测试光路和检测光路, 所述激光器1用于产生射向光学元件16的入射激光; 所述衰减系统用于对入射激光的激光能量进行调节以使其经测试光路辐照到光学元件16后表面时使光学元件16前表面出现初始损伤; 所述测试光路和检测光路的光轴共轴,测试光路用于测量使光学元件16后表面出现初始损伤的入射激光的激光能量密度; 所述检测光路用于实时监控多次激光辐照光学元件16时光学元件16后表面的损伤不断增长的过程中光斑调制度和能量损耗情况; 所述测试光路上沿着光束的出射方向依次设置有第一分光片4、第二分光片5、第一电动位移平台8、透镜9、第三分光片10和光学元件16,激光器产生的入射激光经衰减系统后入射到第一分光片4上,被第一分光片4分成两束光,其中一束光作为测试光透射进入测试光路、另一束光作为检测光反射进入检测光路, 第二分光片5的一侧设置有用于测量测试光路的分光路能量的第一能量计6,第一电动位移平台8上设置有第一挡板7,第三分光片10的一侧设置有第一CCD相机11用于记录激光焦点光斑大小,第一能量计6、第一电动位移平台8、第三电动位移平台17和第一CCD相机11通过数据线与计算机相连; 检测光路上沿着光束的出射方向依次设置有第一反射镜12、第二电动位移平台14、第二反射镜15,第二电动位移平台14上设置有第二挡板13, 进入检测光路的检测光经第一反射镜12和第二反射镜15反射后入射到第三分光片10上,经第三分光片10反射后打在光学元件16上,光学元件16的后侧设置有第四电动位移平台20,第四电动位移平台20上安装有用于记录损伤点对于检测光调制度的影响的第二CCD相机19和用于记录损伤点对于检测光能量透过率的影响的第二能量计18,第二电动位移平台14、第四电动位移平台20、第二CCD相机19和第二能量计18通过数据线与计算机相连。
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