苏州赛森电子科技有限公司张超获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州赛森电子科技有限公司申请的专利一种检测晶圆花篮的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223756913U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423323691.7，技术领域涉及：G01V3/00；该实用新型一种检测晶圆花篮的装置是由张超;田为进设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测晶圆花篮的装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种检测晶圆花篮的装置，涉及半导体制造技术领域，包括：固定台，固定台上开设有检测孔；升降台板；固定台下方安装有电容式接近开关；支架，支架包括：垂直滑动部；水平滑动部；锁紧部，锁紧部用于固定电容式接近开关在调节后的特定位置，通过在固定台下方安装电容式接近开关，电容式接近开关的感应头通过固定台上的检测孔对晶圆花篮底部进行非接触式检测，并通过垂直滑动部、水平滑动部和锁紧部的可调节支架设计，使电容式接近开关的上下和前后位置能够灵活调节并可靠固定，解决微动开关在长期与晶圆花篮接触中容易松动导致影响检测的准确性的问题，可以使检测装置无需与晶圆花篮接触，不会因为松动导致影响检测的准确性。
本实用新型一种检测晶圆花篮的装置在权利要求书中公布了：1.一种检测晶圆花篮的装置，包括： 固定台，所述固定台用于支撑晶圆花篮，所述固定台上开设有检测孔； 升降台板，所述升降台板固定在所述固定台下端； 其特征在于，所述固定台下方安装有电容式接近开关，所述电容式接近开关的感应头设置在所述检测孔内，用于检测所述晶圆花篮底部与所述电容式接近开关之间的距离； 支架，所述支架用于固定所述电容式接近开关，所述支架通过螺栓与所述升降台板可拆卸连接，所述支架包括： 垂直滑动部，所述垂直滑动部设置在所述升降台板一侧，所述垂直滑动部用于调节所述电容式接近开关的上下位置； 水平滑动部，所述水平滑动部设置在所述固定台一侧，所述水平滑动部用于调节所述电容式接近开关的前后位置； 锁紧部，所述锁紧部设置在所述水平滑动部上，所述锁紧部用于固定所述电容式接近开关在调节后的特定位置。
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