信越化学工业株式会社长泽贤幸获国家专利权
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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利导电性高分子组合物、覆盖品及图案形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111675963B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010161707.6,技术领域涉及:C09D179/02;该发明授权导电性高分子组合物、覆盖品及图案形成方法是由长泽贤幸;增永惠一;小竹正晃;渡边聪设计研发完成,并于2020-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本导电性高分子组合物、覆盖品及图案形成方法在说明书摘要公布了:本发明的目的在于提供一种导电性高分子组合物,其能够适宜地用于过滤性及在电子束抗蚀剂上的平坦膜成膜性良好,并且由于低体积电阻率Ω·cm的性质而在电子束光刻工序中也显示优良的抗静电性能,且将因该膜而扩散的酸的影响降至最低从而减少对平版印刷的影响,并且描绘后的基于H22O或碱性显影液的剥离性也优异的电子束光刻用抗静电膜。所述导电性高分子组合物的特征在于,其包含:A具有至少一种以上的下述通式1所表示的重复单元的聚苯胺类导电性高分子、及B下述通式2所表示的羧酸盐。[化学式1][化学式2][化学式3]
本发明授权导电性高分子组合物、覆盖品及图案形成方法在权利要求书中公布了:1.一种导电性高分子组合物,其特征在于,其包含:A具有至少一种以上的下述通式1所表示的重复单元的聚苯胺类导电性高分子、及B下述通式2所表示的羧酸盐, 所述导电性高分子组合物进一步含有D水溶性高分子, 相对于所述A成分100质量份,所述D成分的含量为30质量份~150质量份, 式中,R1~R4各自独立地表示氢原子、酸性基团、羟基、硝基、卤原子、碳原子数为1~24的直链状或支链状的烷基、包含杂原子的碳原子数为1~24的直链状、支链状、环状的烃基、或被卤原子部分取代的碳原子数为1~24的直链状、支链状、环状的烃基, 式中,X+表示锂离子、钠离子、钾离子、或下述通式3所表示的氮化合物,L表示单键、或可介入有杂原子的碳原子数为1~8的直链状、支链状、环状的饱和或不饱和的烃链,L为单键时n=0,L不为单键时n=1,R5与R6分别独立地表示氢原子、杂原子、-COO-X+基、羟基、可介入有杂原子的碳原子数为1~20的直链状、支链状或环状的一价烃基、或末端具有-COO-X+基的碳原子数为1~8的直链状、支链状、或环状的饱和或不饱和烃基,R7表示氢原子、羟基、或-COO-X+基, 式中,R101、R102、R103、R104分别表示氢原子、碳原子数为1~12的直链状、支链状或环状的烷基、烯基、氧代烷基、或氧代烯基、碳原子数为6~20的芳基、或碳原子数为7~12的芳烷基或芳基氧代烷基,这些基团的氢原子的一部分或全部可被烷氧基取代,R101与R102、R101与R102及R104可形成环,形成环时,R101与R102、以及R101与R102及R104表示碳原子数为3~10的亚烷基、或在环中具有式中的氮原子的芳香族杂环。
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