东京毅力科创株式会社砂金优获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利热介质循环系统和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112490102B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010917456.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权热介质循环系统和基板处理装置是由砂金优;北泽贵设计研发完成，并于2020-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本热介质循环系统和基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种热介质循环系统和基板处理装置。使透过树脂制的管道的透过气体的排气效率提高。热介质循环系统具有：管道，其为树脂制，构成供热介质循环于温度控制对象物的循环流路的至少一部分；罩，其包围管道的外周面；以及排气管，其与管道和罩之间的空间相连接，将透过管道并向该空间释放的热介质排出，罩具有供气口，该供气口与热介质从排气管的排出同时地向管道和罩之间的空间供给空气。
本发明授权热介质循环系统和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种热介质循环系统，其具有： 管道，其为树脂制，构成供热介质循环于温度控制对象物的循环流路的至少一部分； 罩，其包围所述管道的外周面； 排气管，其与所述管道和所述罩之间的空间相连接，将透过所述管道并向该空间释放的热介质排出；以及 壳体，其覆盖所述温度控制对象物， 其中，所述管道和所述罩配置于由所述壳体和所述温度控制对象物包围的空间内， 其中，所述罩具有供气口，该供气口与热介质从所述排气管的排出并行地向所述管道和所述罩之间的空间供给空气， 其中，所述排气管的一端侧与设于所述罩的一端侧的使所述管道和所述罩之间的空间闭塞的闭塞构件相连接，所述排气管经由形成于所述闭塞构件的缓冲空间与所述空间连通， 其中，所述供气口配置于所述壳体中的所述罩的位于与该罩的一端侧相反的一侧的另一端侧， 其中，所述排气管的位于与该排气管的一端侧相反的一侧的另一端侧配置于由所述壳体和所述温度控制对象物包围的所述空间的外侧， 其中，所述罩具有越靠近所述供气口、宽度越大的形状， 其中，所述供气口是所述罩的另一端开放而形成的开放端。
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