聚昌科技股份有限公司林志隆获国家专利权
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龙图腾网获悉聚昌科技股份有限公司申请的专利线圈垂直位置可动态调整的蚀刻机结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112863984B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911191783.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权线圈垂直位置可动态调整的蚀刻机结构是由林志隆;蔡兆哲;陈俊龙设计研发完成，并于2019-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本线圈垂直位置可动态调整的蚀刻机结构在说明书摘要公布了：本发明提供一种线圈垂直位置可动态调整的蚀刻机结构，其包括：第一电浆反应腔体，其具有第一反应腔室；多个第一升降模块，又每一第一升降模块，其具有：第一支撑件，其环绕固设于第一反应腔室的外围；及多个第一升降件，其上、下滑动结合于第一支撑件上；以及第一线圈模块，其固设于第一升降件。借由本发明的实施，可以动态的完成反应腔室壁体上，各不同部位沉积物的清理。
本发明授权线圈垂直位置可动态调整的蚀刻机结构在权利要求书中公布了：1.一种线圈垂直位置可动态调整的蚀刻机结构，其特征在于包括： 第一电浆反应腔体，其具有第一反应腔室； 多个第一升降模块，又每一第一升降模块，其具有： 第一支撑件，其环绕固设于该第一反应腔室的外围；及 多个第一升降件，其上、下滑动结合于该第一支撑件上；以及 第一线圈模块，其为环绕结构，该第一线圈模块形成有多圈线圈，其分别固设于该多个第一升降件的第一固定单元上； 其中该第一支撑件与其结合该些第一升降件间，进一步设有第一子升降件； 其中该第一子升降件具有第一子滑道及第一子滑轨； 其中该第一子滑道与该第一支撑件的第一滑轨相结合，又该第一子滑轨与该些第一升降件的第一滑道相结合，藉此使該第一子升降件上、下滑动结合于該第一支撑件上，又该些第一升降件，上、下滑动结合于該第一子升降件上，如此該第一子升降件上、下移动时，可以一次性的带动该些第一升降件进行上、下同步移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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