株式会社斯库林集团镰田雅之获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113871321B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110725317.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理方法和基板处理装置是由镰田雅之;山中智史;酒井康将;今城周也;平藤裕司设计研发完成，并于2021-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法和基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理方法，其提供一种能够抑制处理单元的污染的扩散的技术。基板处理方法具备：设定工序S1，基于用户的输入对基板处理装置所具备的多个处理单元的每一个设定容纳器中容纳的多个仿真基板中的能够使用的仿真基板，生成表示在多个所述处理单元中的每一个能够使用的仿真基板的设定信息；仿真基板特定工序S3，基于所述设定信息，从多个所述仿真基板中特定在多个所述处理单元中的第一处理单元中能够使用的第一仿真基板；以及仿真处理工序S4，所述基板处理装置具备的搬运部将所述第一仿真基板从所述容纳器搬运到所述第一处理单元，所述第一处理单元对所述第一仿真基板进行仿真处理。
本发明授权基板处理方法和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中，具备： 输入器件； 多个处理单元； 搬运部，在容纳有多个仿真基板的容纳器和多个所述处理单元的每一个之间搬运仿真基板；以及 控制部，基于对所述输入器件的输入，对多个所述处理单元中的每一个作成表示多个所述仿真基板中的能够使用的仿真基板的设定信息，基于所述设定信息特定多个所述处理单元中的第一处理单元中能够使用的第一仿真基板，使所述搬运部将所述第一仿真基板从所述容纳器搬运到所述第一处理单元，使所述第一处理单元对所述第一仿真基板进行仿真处理， 所述控制部基于对所述输入器件的输入，对多个所述处理单元分别设定处理类别， 所述控制部基于对所述输入器件的输入，对多个所述仿真基板分别设定处理类别， 所述控制部将属于与对所述第一处理单元设定的处理类别相同的处理类别的仿真基板特定为所述第一仿真基板， 所述处理类别包括表示划分半导体器件的制造工序的多个处理阶段中的不同的处理阶段的多个类别。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励