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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114063388B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110885231.5，技术领域涉及：G03F7/039；该发明授权正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法是由饭尾匡史;浦野宏之;渡边修;竹村胜也设计研发完成，并于2021-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法在说明书摘要公布了：本发明涉及正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法。本发明的课题旨在提供可形成微细图案，并可获得高分辨率，且即使于低温硬化时，机械特性亦良好，而且无于高温高湿试验前后的密接力劣化的正型感光性树脂组成物、及正型感光性干薄膜。一种正型感光性树脂组成物，含有：A碱可溶性树脂，含有选自聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构；B交联性高分子化合物，含有下列通式1表示的结构单元，且具有会与A成分交联的基团；及C感光剂，是因光而产生酸且对于碱水溶液的溶解速度增大的感光剂，为具有醌二叠氮化物结构的化合物。

本发明授权正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法在权利要求书中公布了：1.一种正型感光性树脂组成物，含有： A碱可溶性树脂，含有选自聚酰亚胺结构、聚酰胺酰亚胺结构、聚苯并噁唑的前驱体结构中的至少1种以上的结构； B交联性高分子化合物，含有下列通式2及下列通式4表示的结构单元；及 C感光剂，是因光而产生酸且对于碱水溶液的溶解速度增大的感光剂，为具有醌二叠氮化物结构的化合物； 式中，R8表示氢原子或甲基，X4各自独立地为-C＝O-O-、或亚苯基或亚萘基；R9为亦可含有羟基、酯基、醚基、芳香族烃的碳数1～15的直链状、分支状或环状的亚烷基，R10为氢原子、碳数1～6的直链状、分支状或环状的烷基，或亦可与R9键结而形成环；R11为氢原子、或碳数1～6的直链状、分支状或环状的烷基，R12为氢原子、或碳数1～6的直链状的烷基，亦可与R9键结而形成环；m为1；p为0或1；0b21.0、0b41.0、0b2+b4≤1.0；R4表示氢原子或甲基，X2各自独立地为-C＝O-O-、-C＝O-NH-、或-C＝O-NR5OH-；R5为2价的碳数1～12的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6～12的芳香族烃基，该脂肪族饱和烃基的碳原子亦可置换为氧原子。

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