东京毅力科创株式会社福元敏之获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利成膜条件输出装置、输出方法、输出程序以及成膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114067930B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110826264.2，技术领域涉及：G16C20/70；该发明授权成膜条件输出装置、输出方法、输出程序以及成膜装置是由福元敏之设计研发完成，并于2021-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜条件输出装置、输出方法、输出程序以及成膜装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种成膜条件输出装置、输出方法、输出程序以及成膜装置,其能够输出更合适的成膜条件。成膜条件输出装置具有:第一计算部,其使用将基于成膜装置的成膜处理模型化的线性模型,对用于实现目标成膜结果的第一成膜条件进行计算；第二计算部,其使用将基于上述成膜装置的成膜处理模型化且能够对预测的成膜结果的可信区间进行计算的非线性回归模型,对用于实现上述目标成膜结果的第二成膜条件进行计算；以及选择部,其基于上述第二成膜条件被计算时预测的成膜结果的可信区间是否满足规定的条件的判定结果,选择并输出上述第一成膜条件和上述第二成膜条件的任一者。
本发明授权成膜条件输出装置、输出方法、输出程序以及成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种成膜条件输出装置，其具有： 第一计算部，其使用将基于成膜装置的成膜处理模型化的线性模型，对用于实现目标成膜结果的第一成膜条件进行计算； 第二计算部，其使用将基于上述成膜装置的成膜处理模型化且能够对预测的成膜结果的可信区间进行计算的非线性回归模型，对用于实现上述目标成膜结果的第二成膜条件进行计算；以及 选择部，其基于上述第二成膜条件被计算时预测的成膜结果的可信区间的范围与阈值的比较结果，选择并输出上述第一成膜条件和上述第二成膜条件的任一者， 在上述可信区间的范围为上述阈值以下的情况下，上述选择部对第一差值和第二差值进行比较，并且基于比较结果，选择并输出上述第一成膜条件和上述第二成膜条件的任一者，该第一差值为上述第一成膜条件被计算时的第一成膜结果与目标成膜结果的差值的绝对值，该第二差值为上述第二成膜条件被计算时的第二成膜结果与目标成膜结果的差值的绝对值。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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