朗姆研究公司杨文兵获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于MRAM图案化的化学蚀刻非挥发性材料获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207858B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080055747.0，技术领域涉及：H10N50/01；该发明授权用于MRAM图案化的化学蚀刻非挥发性材料是由杨文兵;塔玛尔·穆克吉;朱中惟;萨曼莎·西亚姆华·坦;林染;潘阳;齐亚德·埃尔奥特尔;范译文设计研发完成，并于2020-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于MRAM图案化的化学蚀刻非挥发性材料在说明书摘要公布了：提供了一种方法。将置于室内的衬底暴露于含卤素气体并点燃等离子体以将该衬底的表面进行改性，从而形成经改性的表面，其中该含卤素气体包括选自于由硅、锗、碳、钛、和锡所组成的群组的元素。将该衬底暴露于经活化的活化气体，以对该经改性的表面的至少一部分进行蚀刻。
本发明授权用于MRAM图案化的化学蚀刻非挥发性材料在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻含金属衬底的方法，其包括： a将置于室内的含金属衬底暴露于含卤素气体，并且点燃等离子体以使所述含金属衬底的表面改性，从而形成经改性的由卤素、来自所述含金属衬底的金属、以及硅、锗、碳、钛和锡中的至少一者构成的复合物的表面，其中所述含卤素气体包括选自于由硅、锗、碳、钛和锡所组成的群组的元素；以及 b将所述含金属衬底暴露于经活化的活化气体，以对所述经改性的表面的至少一部分进行蚀刻，其中将所述含金属衬底暴露于所述经活化的活化气体以对所述经改性的表面的至少一部分进行蚀刻形成挥发性副产物，其中所述挥发性副产物是复合物，所述复合物包括卤素、来自所述含金属衬底的金属、以及硅、锗、碳、钛和锡中的至少一者。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励