东京毅力科创株式会社荻野宏视获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利信息处理装置以及基板处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114270489B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080058682.5,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权信息处理装置以及基板处理方法是由荻野宏视;齐藤雅宪;金谷德明;鹤间康洋设计研发完成,并于2020-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本信息处理装置以及基板处理方法在说明书摘要公布了:本发明涉及信息处理装置以及基板处理方法。接收部接收包含配方的处理的指示。计算部根据在接收部中接收的配方计算标识符。判断部判断在存储部中是否存储有与计算出的标识符相同的标识符。在判断部中判断为在存储部中存储有相同的标识符的情况下,控制部使用与该标识符建立对应的运用数据项和在接收部中接收的配方来控制基板处理装置。
本发明授权信息处理装置以及基板处理方法在权利要求书中公布了:1.一种信息处理装置,是与基板处理装置连接的信息处理装置,具有: 存储部,将执行配方时创建的运用数据项与根据上述配方计算出的标识符建立对应地存储,上述配方是上述基板处理装置的处理条件;以及 处理部, 上述处理部具有: 接收部,接收包含配方的处理的指示; 计算部,根据在上述接收部中接收的配方计算标识符; 判断部,判断在上述存储部中是否存储有与计算出的上述标识符相同的标识符;以及 控制部,在上述判断部中判断为在上述存储部中存储有相同的标识符的情况下,使用与该标识符建立对应的运用数据项和在上述接收部中接收的上述配方来控制上述基板处理装置。
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