广西科技大学余志强获国家专利权
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龙图腾网获悉广西科技大学申请的专利非易失性FeOOH/TiO2异质结忆阻器及其制备和多值存储调控方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114628580B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210263712.7,技术领域涉及:H10N70/20;该发明授权非易失性FeOOH/TiO2异质结忆阻器及其制备和多值存储调控方法是由余志强;陈诚;徐佳敏;曲信儒;韩旭;镇丹;刘宝生;孙子君;张喨;欧梅莲设计研发完成,并于2022-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本非易失性FeOOH/TiO2异质结忆阻器及其制备和多值存储调控方法在说明书摘要公布了:本发明属于微电子器件技术领域,具体涉及一种非易失性FeOOHTiO22异质结忆阻器及其制备和多值存储调控方法,包括底电极,底电极上外延依次生长有TiO22阻变层和FeOOH阻变层,FeOOH阻变层表面沉积有上电极。制备方法包括,导电面朝下的底电极衬底斜放在水热反应釜内胆内,加入配制钛酸四丁酯的反应液,保持部分底电极衬底高于反应液面,密封后置于马弗炉中,水热反应;得到TiO22底电极样品;外延生长面朝下斜放在水热反应釜内胆内,加入FeCl33·6H22O的反应溶液,密封后置于马弗炉中,水热反应完成后得到所需FeOOHTiO22底电极异质结样品;表面沉积一定厚度和形貌的上电极。本发明提供了一种低成本、高密度非易失性FeOOHTiO22异质结忆阻器。
本发明授权非易失性FeOOH/TiO2异质结忆阻器及其制备和多值存储调控方法在权利要求书中公布了:1.非易失性FeOOHTiO2异质结忆阻器,其特征在于,包括底电极,底电极上外延依次生长有TiO2阻变层和FeOOH阻变层,FeOOH阻变层表面沉积有上电极;上电极为金属W电极,底电极为FTO衬底; 通过以下制备方法所得: 步骤1,TiO2底电极样品反应液的配制:在磁力搅拌下,配制钛酸四丁酯的反应液; 步骤2,将导电面朝下的干净底电极衬底斜放在水热反应釜内胆内,按比例加入步骤1中的反应液,同时保持部分底电极衬底高于反应液面,密封后置于马弗炉中,水热反应; 步骤3,水热反应完成后,冷却至室温,取出底电极样品并依次用乙醇、去离子水冲洗干净,自然晾干,得到所需TiO2底电极样品; 步骤4,FeOOHTiO2底电极异质结样品反应液的配制:在磁力搅拌下,配制含有FeCl3▪6H2O的反应溶液; 步骤5,将步骤3中所制备的TiO2底电极样品外延生长面朝下斜放在水热反应釜内胆内,按比例加入步骤4中的反应溶液,保持所加反应溶液与步骤2所加反应液体积一致,密封后置于马弗炉中; 步骤6,水热反应完成后,反应釜冷却至室温,取出样品并用去离子水冲洗干净,自然晾干,得到所需FeOOHTiO2底电极异质结样品; 步骤7,将步骤6制备的FeOOHTiO2底电极异质结样品表面沉积一定厚度和形貌的上电极,实现FeOOHTiO2异质结忆阻器的制备。
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