细美事有限公司金贤俊获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利确定传送机械手是否正常的系统和方法及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114649237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111528599.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权确定传送机械手是否正常的系统和方法及基板处理装置是由金贤俊设计研发完成，并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本确定传送机械手是否正常的系统和方法及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及确定传送机械手是否正常的系统和方法及基板处理装置。公开了一种包括用于传送基板的传送腔室的基板处理装置。传送腔室可以包括手部，基板放置在该手部上；臂部，该臂部连接至手部；第一构件，该第一构件支承手部和臂部、且移动以传送基板；第二构件，该第二构件支承第一构件；传感器检测构件，该传感器检测构件附接到第一构件；传感器构件，该传感器构件附接到第二构件；和确定单元，该确定单元通过传感器检测构件与传感器构件之间的距离来确定在传送腔室中传送是否正常。
本发明授权确定传送机械手是否正常的系统和方法及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种用于确定配置为传送基板的传送机械手是否正常的系统，所述系统包括： 传感器检测构件，所述传感器检测构件附接到用于传送所述基板的移动构件； 传感器构件，所述传感器构件附接到支承构件，所述支承构件配置为支承用于传送所述基板的所述移动构件；和 确定单元，所述确定单元配置为通过所述传感器检测构件与所述传感器构件之间的距离来确定所述传送机械手是否正常， 其中，用于传送所述基板的所述移动构件通过电机驱动，并且 其中，所述确定单元： 使用所述电机的Z相位确定所述传送机械手是否正常； 将在所述传感器构件中检测到所述传感器检测构件的位置设定为第一位置，并将所述移动构件通过所述电机的Z相位从所述第一位置移动的位置设定为第二位置；并且 通过确定i当所述移动构件被所述电机从所述第一位置驱动到所述第二位置时由连接到所述电机的编码器测量的测量脉冲值与ii预设参考值之间的差是否在预设误差范围内，来确定所述传送机械手是否正常。
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