卡尔蔡司SMT有限责任公司W.安德尔获国家专利权
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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利用于投射曝光设备的照明光学单元的多分面反射镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730136B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080079949.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于投射曝光设备的照明光学单元的多分面反射镜是由W.安德尔;C.科纳;H.奥尔德雷;M.霍尔兹;M.斯通皮;S.塞茨设计研发完成，并于2020-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于投射曝光设备的照明光学单元的多分面反射镜在说明书摘要公布了：一种用于投射印刷系统的照明光学单元的多分面反射镜具有多个可移位的单独分面8ii，该单独分面具有分面主体35和配备在其上的反射表面36，其中，单独分面8ii中的至少一个子组合具有位移范围，使得子组合在一个或多个位移位置中与邻接表面38接触。
本发明授权用于投射曝光设备的照明光学单元的多分面反射镜在权利要求书中公布了：1.一种用于投射曝光设备1的照明光学单元1a的分面反射镜7、20，具有 1.1.大量可移位的单独分面8i、21i，其具有 1.1.1.分面主体35，和 1.1.2.布置在其上的反射表面36， 1.2.其特征在于，所述单独分面8i、21i形成为使得相邻的单独分面8i、21i彼此接触，但仅在所述分面主体35中或上形成的止动表面区域中和或在所述分面主体35中或上布置或形成的止动元件38的区域中接触。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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