朗姆研究公司阿维尼什·古普塔获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利压强批量补偿以稳定修整和沉积工艺的CD变化获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114746577B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080084320.3，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权压强批量补偿以稳定修整和沉积工艺的CD变化是由阿维尼什·古普塔;普尔凯特·阿加瓦尔;拉维·库马尔;阿德里安·拉沃伊;希瓦·沙兰·班达里设计研发完成，并于2020-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本压强批量补偿以稳定修整和沉积工艺的CD变化在说明书摘要公布了：一种控制器包括：累积确定器，其被配置为确定指示处理室内的表面上的材料累积量的第一累积值；和压强控制器，其被配置为获得所述第一累积值，获得与蚀刻步骤相关的设定点压强和所述蚀刻步骤的持续时间中的至少一者，以及为了在所述蚀刻步骤期间控制所述处理室内的所述压强，基于i所述第一累积值和ii所述设定点压强和所述蚀刻步骤的所述持续时间中的至少一者来调整控制参数。
本发明授权压强批量补偿以稳定修整和沉积工艺的CD变化在权利要求书中公布了：1.一种压强补偿控制系统，其包括： 累积确定器，其被配置为确定蚀刻步骤期间指示处理室内的表面上的材料累积量的第一累积值；和 控制器，其被配置为基于所述蚀刻步骤期间的所述第一累积值来调整控制参数； 其中所述控制参数基于与所述蚀刻步骤相关的设定点压强来控制所述处理室内的压强，其中所述设定点压强根据压强调整系数进行调整，所述控制器被设置成使用所存储的数据确定对应于所述第一累积值的所述压强调整系数以及根据所述压强调整系数调整所述压强的量，所述压强调整系数是i补偿所述累积所需的压强的量比ii所述设定点压强的比率；和或 其中所述控制参数控制所述蚀刻步骤的持续时间，其中所述蚀刻步骤的所述持续时间根据持续时间调整系数进行调整，所述控制器被设置成使用所存储的数据来确定对应于所述第一累积值的所述持续时间调整系数，以及根据所述持续时间调整系数来调整所述蚀刻步骤的所述持续时间，所述持续时间调整系数对应于用于增加所述蚀刻步骤的所述持续时间的量，以补偿所述累积。
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