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龙图腾网获悉西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种物料调度方法和一种半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114927430B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210403425.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种物料调度方法和一种半导体工艺设备是由雷花;杨洋设计研发完成，并于2022-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种物料调度方法和一种半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种物料调度方法和一种半导体工艺设备，所述方法包括：在采用局部最优算法挑选高优先级物料的过程中，若一个所述预抽充腔室中同时存在从片盒传出未进行工艺的第一物料和完成工艺需传回所述片盒的第二物料，则将所述第一物料添加至高优先级物料暂存列表中；在不存在最佳的可交换物料但存在最佳的不可交换物料的情况下，将所述最佳的不可交换物料添加至所述高优先级物料暂存列表中；将当前处于所述高优先级物料暂存列表中的物料确定为高优先级物料；基于所述高优先级物料确定物料调度的调度动作序列。根据本发明实施例，无需针对TimeCost比较增加平衡条件，通过调整挑选高优先级物料的方式，即可以正确有效挑选出目标物料。

本发明授权一种物料调度方法和一种半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种物料调度方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括用于对物料进行工艺处理的腔室模块，所述腔室模块包括预抽充腔室，所述方法包括： 在采用局部最优算法挑选高优先级物料的过程中，若一个所述预抽充腔室中同时存在从片盒传出未进行工艺的第一物料和完成工艺需传回所述片盒的第二物料，则将所述第一物料添加至高优先级物料暂存列表中； 在不存在最佳的可交换物料但存在最佳的不可交换物料的情况下，将所述最佳的不可交换物料添加至所述高优先级物料暂存列表中，若当前物料的传输路径中的下一步骤模块中存在物料与所述当前物料交换，则所述当前物料为所述最佳的可交换物料，若所述当前物料所在步骤模块在对应的所述传输路径中的顺序为第一顺序，则确定存在所述最佳的不可交换物料，所述当前物料为所述最佳的不可交换物料； 将当前处于所述高优先级物料暂存列表中的物料确定为高优先级物料； 基于所述高优先级物料确定物料调度的调度动作序列； 所述基于所述高优先级物料确定物料调度的调度动作序列，包括： 判断所述高优先级物料中是否存在前一个工艺任务中的最后一片物料； 若存在，则将所述高优先级物料中除所述前一个工艺任务中的最后一片物料之外的其它物料从所述高优先级物料暂存列表中移出，得到处于所述高优先级物料暂存列表中的新的高优先级物料； 基于所述新的高优先级物料确定物料调度的所述调度动作序列。

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