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龙图腾网获悉苏州腾晖光伏技术有限公司申请的专利一种太阳能电池的PN结制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115274915B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210511141.4，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种太阳能电池的PN结制备方法是由王晓蕾;贾静;顾浩;周家将;丁峰;霍佳徐设计研发完成，并于2022-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种太阳能电池的PN结制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种太阳能电池的PN结制备方法，包括如下步骤：1对硅片进行前氧化，在硅片表面形成二氧化硅氧化层；2向置有所述硅片的扩散设备内通入第一载气、氧气和携带有磷源的第二载气，进行低温扩散；3向所述扩散设备中通入第一载气，进行高温推进；4所述扩散设备降温，在降温的过程中通入第一载气；所述PN结制备方法还包括如下步骤：5所述扩散设备内通入第一载气和氧气，对所述硅片进行氧化；6向所述扩散设备中通入第一载气、氧气和携带有磷源的第二载气，以补充携带有磷源的第二载气。本发明能够在较小影响填充因子的前提下，提高短路电流和开路电压，从而提高电池片的转换效率。

本发明授权一种太阳能电池的PN结制备方法在权利要求书中公布了：1.一种太阳能电池的PN结制备方法，包括如下步骤： 1对硅片进行前氧化，在硅片表面形成二氧化硅氧化层； 2向置有所述硅片的扩散设备内通入第一载气、氧气和携带有磷源的第二载气，进行低温扩散； 3向所述扩散设备中通入第一载气，进行高温推进； 4所述扩散设备降温，在降温的过程中通入第一载气； 其特征在于，所述PN结制备方法还包括如下步骤： 5所述扩散设备内通入第一载气和氧气，对所述硅片进行氧化； 6向所述扩散设备中通入第一载气、氧气和携带有磷源的第二载气，以补充携带有磷源的第二载气； 其中，步骤5和6中所述扩散设备的温度低于步骤3中所述扩散设备的温度； 步骤2中，向扩散设备的炉管中通入氮气、氧气和三氯氧磷，在与步骤1相同的温度条件下，先反应80~100s，进行一次通源；再将各温区温度分别升高5~15℃后，继续反应250~300s，进行二次通源； 步骤5在补充携带有磷源的第二载气之前进行；步骤5中，在炉管温度790~810℃条件下，向炉管内通入氮气、氧气，氮气流量为1600~2000sccm，氧气流量为150~250sccm，反应时间350~450s，以在硅片表面生成二氧化硅掩膜；步骤6中，在炉管温度790~810℃条件下向炉管内流量为1100~1300sccm的氮气，流量为650~850sccm的氧气，流量为125~145sccm的三氯氧磷，反应时间220~260s； 步骤6之后，还包括步骤7：在炉管温度770～790℃条件下，降温，此过程中向炉管内通入氮气，氮气流量1800～2200sccm，反应时间340～380s； 在步骤7之后，还包括后氧化步骤，所述后氧化步骤包括向炉管内通入氮气、氧气，氮气流量为1000~1400sccm，氧气流量为600~1000sccm。

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