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龙图腾网获悉堪萨斯州立大学研究基金会;株式会社乐派司申请的专利微针、微锥和光刻制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115298609B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180022017.5，技术领域涉及：G03F1/42；该发明授权微针、微锥和光刻制造方法是由金廷权;李根镐;金正东;郑道铉设计研发完成，并于2021-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本微针、微锥和光刻制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于生产聚合物微针、微探针和其他具有锋利尖端的微型结构的光刻制造方法。其制造工艺利用的是通过光掩模微图案进行的使光敏树脂自下而上曝光的单个步骤，相应地改变增加树脂的折射率，在树脂内形成聚焦于附加的传输能量并形成会聚状一次谐波微锥的元态波导。能量通过一次谐波微锥的尖端作为二次谐波光束衍射，从而形成与一次微锥相邻的二次会聚状二次谐波形状，其次是附加的三次谐波微锥，其通过应用附加能量可以建立在这些结构上。

本发明授权微针、微锥和光刻制造方法在权利要求书中公布了：1.一种用于制造具有会聚尖端的多个微型结构的光刻方法，其特征在于，包括以下步骤： 提供具有上表面和背面的基板，所述基板包括图案，所述图案具有配置为允许辐射传输的开放区域和配置为防止辐射传输的固体区域； 在所述上表面上形成一层液态光敏树脂； 使得所述液态光敏树脂在第一段时间内暴露于从背面穿过所述基板的辐射下，从而产生所述液态光敏树脂的光暴露部分，所述光暴露部分在所述上表面以与所述开放区域对齐的形式交联及或聚合成各自的初始固态树脂结构，与所述液态光敏树脂相比，所述初始固态树脂结构具有增加的折射率，因此每个初始固态树脂结构充当波导，引导所述辐射穿过所述图案的开放区域到达会聚点，从而形成具有锥形侧壁和会聚尖端的固态树脂结构；以及 将涂层与溶剂系统接触，以便去除所述液态光敏树脂的非光暴露部分，从而留下多个微型固态树脂结构，这些结构具有横跨所述基板的上表面的锥形侧壁和会聚尖端； 曝光步骤包括所述第一段时间，还包括与所述第一段时间连续的至少一个第二段时间； 在第二段时间内暴露于辐射下会诱发与第一高度的初始微型固态树脂结构的会聚尖端相邻的树脂层区域的进一步交联及或光聚合，从而在所述初始微型固态树脂结构上形成一个或多个附加谐波结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人堪萨斯州立大学研究基金会;株式会社乐派司，其通讯地址为：美国堪萨斯州曼哈顿；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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