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武汉大学袁超获国家专利权

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龙图腾网获悉武汉大学申请的专利一种无损原位测试焊料热导率和界面热阻的方法、系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116539564B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310347912.5,技术领域涉及:G01N21/55;该发明授权一种无损原位测试焊料热导率和界面热阻的方法、系统是由袁超;孟弼伟;周少杰设计研发完成,并于2023-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种无损原位测试焊料热导率和界面热阻的方法、系统在说明书摘要公布了:本发明属于热导率和界面热阻测试技术领域,公开了一种无损原位测试焊料热导率和界面热阻的方法、系统。本发明中的测试样品从上至下依次为芯片、金属层、焊料和基板,本发明将脉冲激光光束聚焦至测试样品中的金属层的表面并对其进行加热;将探测激光光束聚焦至金属层的表面,并将经测试样品反射后形成的反射探测光束传输至信号处理单元,得到反射光强信息;基于热传导理论模型和反射光强信息,拟合计算得到焊料的热导率、焊料与芯片之间的界面热阻。本发明能够实现对实际器件中焊料的热导率和焊料与芯片之间的界面热阻的原位测试,本发明设计巧妙,直接利用芯片和焊料之间的金属层作为传感层,无需对器件进行镀金属处理,能够实现无损测试。

本发明授权一种无损原位测试焊料热导率和界面热阻的方法、系统在权利要求书中公布了:1.一种无损原位测试焊料热导率和界面热阻的方法,其特征在于,测试样品从上至下依次为芯片、金属层、焊料和基板;方法包括以下步骤: 利用脉冲激光器发出脉冲激光光束,所述脉冲激光光束聚焦至所述测试样品中的所述金属层的表面,并对所述金属层的表面进行加热; 利用探测激光器发出探测激光光束,所述探测激光光束聚焦至所述金属层的表面;所述探测激光光束和所述脉冲激光光束二者的光斑中心在所述金属层的表面重合; 所述探测激光光束经所述测试样品反射后形成的反射探测光束传输至信号处理单元,基于所述信号处理单元得到反射光强信息; 基于热传导理论模型和所述反射光强信息,拟合计算得到所述焊料的热导率、所述焊料与所述芯片之间的界面热阻; 其中,基于所述芯片的材料以及所述金属层包含的金属材料,选取所述脉冲激光器和所述探测激光器的工作波长; 所述脉冲激光器和所述探测激光器的工作波长对应的光子能量均低于所述芯片的材料的禁带宽度,且所述探测激光器的工作波长使得所述金属层包含的金属材料的热反射系数大于预设的热反射系数阈值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人武汉大学,其通讯地址为:430072 湖北省武汉市武昌区八一路299号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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