爱思开矽得荣株式会社张广宁获国家专利权
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龙图腾网获悉爱思开矽得荣株式会社申请的专利用于晶圆安装的蜡涂覆设备及相关的晶圆安装设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116571406B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310147158.0,技术领域涉及:B05C9/14;该发明授权用于晶圆安装的蜡涂覆设备及相关的晶圆安装设备是由张广宁设计研发完成,并于2023-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆安装的蜡涂覆设备及相关的晶圆安装设备在说明书摘要公布了:用于晶圆安装的蜡涂覆设备及相关的晶圆安装设备,实施例的用于晶圆安装的蜡涂覆设备包括:真空吸盘,提供真空压力的真空流道嵌入在真空吸盘中;加热盘,加热盘被安装在真空吸盘的上侧部上并且具有孔和凹槽,孔和凹槽被连接到真空吸盘的真空流道,以吸附块部,晶圆被粘附到块部;旋转轴,旋转轴被连接到真空吸盘的下侧部;驱动马达,驱动马达用于使旋转轴旋转;以及蜡喷嘴,蜡喷嘴被布置成与真空吸盘的上侧部间隔开,其中,加热盘可以被操作成在蜡喷嘴将蜡喷涂到块部上时对块部进行加热。
本发明授权用于晶圆安装的蜡涂覆设备及相关的晶圆安装设备在权利要求书中公布了:1.一种蜡涂覆设备,用于晶圆安装,所述蜡涂覆设备包括: 真空吸盘,提供真空压力的真空流道嵌入在所述真空吸盘中; 加热盘,所述加热盘被安装在所述真空吸盘的上侧部上并且具有孔和凹槽,所述孔和凹槽被连接到所述真空吸盘的真空流道,以吸附块部,晶圆被粘附到所述块部; 旋转轴,所述旋转轴被连接到所述真空吸盘的下侧部; 驱动马达,所述驱动马达用于使所述旋转轴旋转;以及 蜡喷嘴,所述蜡喷嘴被布置成与所述真空吸盘的上侧部间隔开, 其中,所述加热盘包括:在所述加热盘的中心处的中心孔,所述中心孔与所述真空吸盘的真空流道连通, 一对线形凹槽,所述一对线形凹槽基于所述中心孔彼此交错,以及 环形凹槽,所述环形凹槽使所述线形凹槽的两个端部彼此连接, 其中,所述加热盘被操作成在所述蜡喷嘴将蜡喷涂到所述块部上时对所述块部进行加热。
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