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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利一种六自由度误差修正的三维运动测量系统及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116608784B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310311425.3，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种六自由度误差修正的三维运动测量系统及测量方法是由程方;陈涛;余卿;苏杭设计研发完成，并于2023-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种六自由度误差修正的三维运动测量系统及测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种六自由度误差修正的三维运动测量系统及测量方法，包括光学气浮平台、六自由度误差修正的三维运动测量系统、二维运动机台、基准光学平晶、彩色共聚焦测量桥组件、相机测量桥组件以及薄膜干涉组件；本发明中的相机测量桥架模块采集所述像栅传感器系统中同心圆的图像，所述同心圆图像基于亚像素处理与同心圆识别获取高精度横向位移，基于线性插值计算的方式在X、Y两个方向形成两条虚拟测量线，测量线的交点处便为彩色共聚焦测头的摆放位置，在测头的正下方放置所述薄膜干涉组件，所述薄膜干涉组件以超精密光学平晶作为测量基准，以此使本发明满足三维零阿贝误差，三轴零耦合误差，提高了三维运动测量平台的测量精度。

本发明授权一种六自由度误差修正的三维运动测量系统及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种六自由度误差修正的三维运动测量系统，其特征在于，包括光学气浮平台、像栅传感器系统、二维运动机台、基准光学平晶、彩色共聚焦测量桥组件、相机测量桥组件、标定板以及薄膜干涉组件；所述光学气浮平台作为底座，所述二维运动机台设置于该底座上且包括配置在所述底座的导轨驱动机构、基准光学平晶以及中心平台，所述中心平台配置在所述导轨驱动机构上，所述基准光学平晶配置在中心平台上用以承载待测工件，所述彩色共聚焦测量桥组件设置于底座上并横跨所述二维运动机台的两侧来采集待测工件的表面信息，所述像栅传感器系统固定于所述二维运动机台上并能随所述二维运动机台进行移动，所述标定板由多组同心圆组成，每个同心圆之间具有相同间隔，所述相机测量桥组件设置于像栅传感器系统上方并通过所述相机测量桥组件采集所述标定板中的同心圆图案，所述相机测量桥组件获取的二维运动机台处于不同位置的同心圆图像，通过亚像素图像处理实现XY方向耦合误差以及导轨定位误差的消除，通过像栅传感器系统测量位置来消除二维运动机台的横向阿贝误差，所述薄膜干涉组件位于所述二维运动机台的一侧并能够通过与所述基准光学平晶下表面产生的薄膜干涉时条纹的位移进行来消除系统纵向的阿贝误差以及Z轴耦合误差；两组相机测量桥架组件和像栅传感器系统在二维运动机台上呈对角设置，基于像栅传感器系统与相机测量桥架组件所采集的位移数据，在X、Y两个方向分别线性插值两条虚拟测量线，且虚拟测量线的交点为所述彩色共聚焦测头的位置。

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