长春理工大学于占江获国家专利权
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龙图腾网获悉长春理工大学申请的专利一种微细电极在线监测装置及监测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116673555B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310776961.0,技术领域涉及:B23H11/00;该发明授权一种微细电极在线监测装置及监测方法是由于占江;张晓冬;张向辉;于朋;李英;刘岩;李一全;杨珅;许金凯设计研发完成,并于2023-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微细电极在线监测装置及监测方法在说明书摘要公布了:本发明一种微细电极在线监测装置及监测方法,属于特种加工技术领域;在线监测装置包括同轴全息成像模块、LED背光成像模块、运动控制模块、图像采集卡、激光功率控制器、LED亮度控制器组成。其中LED背光成像模块进行微细电极图像定位;同轴全息成像模块对微细电极进行全息干涉成像,基于全息重构算法,获取电极轮廓信息,进而判别电极损耗程度。同轴全息成像模块和LED背光成像模块通过运动控制模块进行反射镜位置切换实现不同成像方式的控制,采集到的图像经图像采集卡进入PC机,进行图像算法分析,对微细电极损耗程度进行判别。本发明实现微细电极损耗的在线监测。
本发明授权一种微细电极在线监测装置及监测方法在权利要求书中公布了:1.一种微细电极在线监测装置,其特征在于,包括同轴全息成像模块、LED背光成像模块、运动控制模块和图像采集卡19,图像采集卡19与CMOS相机Ⅰ10和CMOS相机Ⅱ5通信连接; 同轴全息成像模块由小功率激光源4、准直扩束镜3、CMOS相机Ⅰ10和激光功率控制器16组成; LED背光成像模块由LED光源13、准直镜组14、CMOS相机Ⅱ5、低倍远心镜头6和LED亮度控制器17组成; 运动控制模块由运动平移台Ⅰ1、运动平移台Ⅱ15、反射镜Ⅰ2、反射镜Ⅱ11和运动控制器18组成,反射镜Ⅰ2、反射镜Ⅱ11分别安装在运动平移台Ⅰ1、运动平移台Ⅱ15上,运动平移台Ⅰ1、运动平移台Ⅱ15均与运动控制器18电性连接; 运动控制器18、LED亮度控制器17、激光功率控制器16、图像采集卡19均与PC处理机20通信连接; 反射镜Ⅰ2、反射镜Ⅱ11所处位置分别在P0、Q0位置时,同轴全息成像模块对安装在电极主轴9上的微细电极8成像;反射镜Ⅰ2、反射镜Ⅱ11所处位置分别在P1、Q1位置时,LED背光成像模块对安装在电极主轴9上的微细电极8成像; PC处理机20发送控制信号到激光功率控制器16,激光功率控制器16控制小功率激光源4出射激光,激光经由准直扩束镜3进行准直扩束,并通过运动平移台Ⅰ1上的反射镜Ⅰ2进行光路偏转,照射到微细电极8,然后激光继续传输通过运动平移台Ⅱ15上的反射镜Ⅱ11进行光路偏转,进入CMOS相机Ⅰ10进行全息同轴干涉成像; PC处理机20发送控制信号到LED亮度控制器17,LED亮度控制器17控制LED光源13出射LED光束,LED光束经由准直镜组14进行准直,并通过运动平移台Ⅱ15上的反射镜Ⅱ11进行光路偏转,照射到微细电极8,然后LED光继续传输通过运动平移台Ⅰ1上的反射镜Ⅰ2进行光路偏转,通过低倍远心镜头6进入CMOS相机Ⅱ5进行LED背光成像。
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