江苏长光时空光电技术有限公司张星获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏长光时空光电技术有限公司申请的专利一种单片多波长输出面发射激光器结构及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116683289B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310879125.5,技术领域涉及:H01S5/183;该发明授权一种单片多波长输出面发射激光器结构及制备方法是由张星设计研发完成,并于2023-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单片多波长输出面发射激光器结构及制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种单片多波长输出面发射激光器结构及制备方法。本发明包括衬底;设置于衬底上表面的N型DBR反射镜层;第一有源层,设置于所述N型DBR反射镜层上表面;第一氧化层,设置于所述第一有源层上表面;垂直叠加设置于所述第一氧化层上表面的至少一个中间有源区结构,每个所述中间有源区结构包括由下至上依次设置的中间DBR反射镜层、第二有源层和第二氧化层;P型DBR反射镜层,设置于所述中间有源区结构上;P面电极层,设置于P型DBR反射镜层上表面;N面电极层,设置于所述衬底下表面;其中,所述P面电极层表面设置有中心出光孔,所述第一氧化层和所述第二氧化层对应所述中心出光孔分别设置氧化孔。本发明增加了输出波长的种类且集成度高。
本发明授权一种单片多波长输出面发射激光器结构及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种单片多波长输出面发射激光器结构,其特征在于,包括: 衬底; 设置于所述衬底上表面的N型DBR反射镜层; 第一有源层,设置于所述N型DBR反射镜层上表面; 第一氧化层,设置于所述第一有源层上表面; 垂直叠加设置于所述第一氧化层上表面的至少一个中间有源区结构,每个所述中间有源区结构包括由下至上依次设置的中间DBR反射镜层、第二有源层和第二氧化层; P型DBR反射镜层,设置于所述中间有源区结构上; P面电极层,设置于P型DBR反射镜层上表面; N面电极层,设置于所述衬底下表面; 其中,所述P面电极层表面设置有中心出光孔,所述第一氧化层和所述第二氧化层对应所述中心出光孔分别设置氧化孔。
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