应用材料公司安治高志获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利坩埚、蒸发源、蒸发方法、真空处理设备和制造装置的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116964240B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180093953.5，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权坩埚、蒸发源、蒸发方法、真空处理设备和制造装置的方法是由安治高志;塞巴斯蒂安·弗兰克设计研发完成，并于2021-02-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本坩埚、蒸发源、蒸发方法、真空处理设备和制造装置的方法在说明书摘要公布了：描述了一种蒸发材料的坩埚。坩埚包括被配置以容纳待蒸发材料的第一材料隔室、加热第一材料隔室的第一加热器、被配置以容纳待蒸发材料的第二材料隔室和加热第二材料隔室的第二加热器。提供了一个蒸气引导隔室。蒸气引导隔室具有第一开口，所述第一开口提供在第一材料隔室与蒸气引导隔室之间的第一流体连通路径，并且具有第二开口，所述第二开口提供在第二材料隔室与蒸气引导隔室之间的第二流体连通路径。此外，蒸气引导隔室具有能连接到蒸气分配器的第三开口。坩埚进一步包括用于加热蒸气引导隔室的第三加热器。
本发明授权坩埚、蒸发源、蒸发方法、真空处理设备和制造装置的方法在权利要求书中公布了：1.一种蒸发材料的坩埚，包含： 第一材料隔室，被配置以容纳待蒸发的材料； 第一加热器，用以加热所述第一材料隔室； 第二材料隔室，被配置以容纳待蒸发的材料； 第二加热器，用以加热所述第二材料隔室； 蒸气引导隔室，具有第一开口并且具有第二开口，所述第一开口在所述第一材料隔室与所述蒸气引导隔室之间提供第一流体连通路径，所述第二开口在所述第二材料隔室与所述蒸气引导隔室之间提供第二流体连通路径，所述蒸气引导隔室进一步具有能连接到蒸气分配器的第三开口； 第三加热器，用以加热所述蒸气引导隔室，和 分隔壁和孔口中的至少一者，用以进行以下至少一者：控制和调整在沉积速率与纯化速度之间的比率，其中分隔壁和孔口中的所述至少一者包含： 在所述第一流体连通路径中的第一孔口和在所述第二流体连通路径中的第二孔口中的至少一者；或 所述分隔壁，所述分隔壁被提供在所述蒸气引导隔室中，用以限定在所述第一材料隔室与所述第二材料隔室之间的流体传导。
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