先导薄膜材料(广东)有限公司罗斯诗获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种高氧空位浓度的氧化锌铝靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116988029B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311187593.2，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种高氧空位浓度的氧化锌铝靶材及其制备方法是由罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇设计研发完成，并于2023-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高氧空位浓度的氧化锌铝靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，公开了一种高氧空位浓度的氧化锌铝靶材的制备方法，在真空环境下，将氧化锌铝前驱体、钛粉置于同一环境中且相互不接触，按照梯度升温的方法烧结，得到氧化锌铝靶材；所述梯度升温的方法为：以0.5℃～1.5℃min的速度升温，并在1000℃±20℃、1100℃±20℃、1200℃±20℃三个阶段各保温0.5～1.5h；当升温到1200～1350℃时，保温10～12h；然后以0.1℃～0.5℃min的速度降温。该方法采用钛来吸收氧，在真空条件下实现氧化锌铝靶材的氧空位的提高，在采用钛的同时，通过控制阶梯升温幅度，可优化氧空位。同时，本发明还提供了该氧化锌铝靶材。
本发明授权一种高氧空位浓度的氧化锌铝靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高氧空位浓度的氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，在真空环境下，将氧化锌铝前驱体、钛粉置于同一环境中且相互不接触，按照梯度升温的方法烧结，得到氧化锌铝靶材； 所述梯度升温的方法为： 以0.5℃～1.5℃min的速度升温，并在1000℃±20℃、1100℃±20℃、1200℃±20℃三个阶段各保温0.5～1.5h；当升温到1200～1350℃时，保温10～12h；然后以0.1℃～0.5℃min的速度降温；降温至400℃后进行自然降温，同时在温度降至200℃之前不可打开炉门，得到靶材； 所述氧化锌铝前驱体由氧化锌和氧化铝组成，所述氧化锌和氧化铝的质量比为：97～98：2～3。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人先导薄膜材料(广东)有限公司，其通讯地址为：511500 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励